產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
顯微分光光度計(jì)(Micro-Photometry、Micro Spectrophotometry)是用來(lái)描述薄膜、涂層厚度過(guò)1微米的物件的光學(xué)性能的。顯微分光光度計(jì)同樣也被稱作為：microreflectometer、micro-reflectometer、microspectrometer、microphotometer(Spectroscopic)、microspectroscopic photometer等等。依靠著Angstrom公司的設(shè)計(jì)，MSP系列產(chǎn)品有著在線的實(shí)時(shí)數(shù)字成像系統(tǒng)，以及強(qiáng)大的數(shù)字編輯能力、擁有者反射率、率及吸收光譜等測(cè)量工具。可以在毫秒的時(shí)間內(nèi)就完成數(shù)據(jù)采集。在進(jìn)行諸如反射、、涂層厚度、折射率(光學(xué)常數(shù))等光學(xué)性能改變的運(yùn)動(dòng)學(xué)研究方面，TFProbe軟件允許用戶設(shè)立加熱階段或冷卻階段。在各種MSP型號(hào)的可移動(dòng)X-Y平臺(tái)或ρ-θ平臺(tái)中都可以用到自動(dòng)成像功能，在使用螺桿的電動(dòng)調(diào)焦功能上也同樣的能使用此功能。儀器所能測(cè)量的波長(zhǎng)范圍通常是用戶考慮的重要的一個(gè)參數(shù)，Angstrom公司的MSP產(chǎn)品，其測(cè)量波長(zhǎng)覆蓋了從深紫外光(DUV)到近紅外光的范圍。這個(gè)波長(zhǎng)范圍應(yīng)當(dāng)諸如薄膜或涂層的厚度、反射或的典型波長(zhǎng)范圍等因素決定。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
● 基于視窗結(jié)構(gòu)的軟件，很容易操作
● 的深紫外光學(xué)及堅(jiān)固耐用的震設(shè)計(jì)，以系統(tǒng)能發(fā)揮出的性能及長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間
● 基于陣列設(shè)計(jì)的探測(cè)器系統(tǒng)，以快速測(cè)量
● 格，便攜式及靈巧的操作臺(tái)面設(shè)計(jì)
● 在很小的尺寸范圍內(nèi)，多可測(cè)量多達(dá)5層的薄膜厚度及折射率
● 在毫秒的時(shí)間內(nèi)，可以獲得反射率、傳輸率和吸收光譜等一些參數(shù)
● 能夠用于實(shí)時(shí)或在線的監(jiān)控光譜、厚度及折射率
● 系統(tǒng)配備大量的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)及數(shù)據(jù)庫(kù)
● 對(duì)于每個(gè)被測(cè)薄膜樣品，用戶可以利用的軟件功能選擇使用NK數(shù)據(jù)庫(kù)、也可以進(jìn)行色散或者復(fù)合模型（EMA）測(cè)量分析
● 系統(tǒng)了可視化、光譜測(cè)量、、薄膜厚度測(cè)量等功能于一體
● 能夠應(yīng)用于不同類型、不同厚度(厚可測(cè)200mm)的基片測(cè)量
● 使用深紫外光測(cè)量的薄膜厚度可至20 ?
● 2D和3D的圖形輸出和友好的用戶數(shù)據(jù)管理界面
● 的成像軟件可用于諸如角度、距離、面積、粒子計(jì)數(shù)等尺寸測(cè)量
● 各種不同的選配件可滿足客戶各種的應(yīng)用
系統(tǒng)配置：
● 型號(hào)：MSP300R
● 探測(cè)器：2048像素的CCD陣列
● 光源：直流穩(wěn)壓鹵素?zé)?
● 光傳送方式：光纖
● 自動(dòng)的臺(tái)架平臺(tái)：處理的鋁合金操作平臺(tái)，手動(dòng)調(diào)節(jié)移動(dòng)范圍為75mm×55mm
● 物鏡有著長(zhǎng)焦點(diǎn)距離:4×，10×，50×
● 通訊接口：U的通訊接口與計(jì)算機(jī)相連
● 測(cè)量類型：反射/光譜、薄膜厚度/反射光譜和特性參數(shù)
● 計(jì)算機(jī)硬件：英特兒酷睿2雙核處理器，200G硬盤、DVD刻錄機(jī)，19”LCD顯示器
● 電源：110–240V AC/50-60Hz，3A
● 尺寸：16’x16’x18’ (操作桌面設(shè)置)
● 重量：120磅總重
● 保修：一年的整機(jī)及備件保修
基本參數(shù)：
● 波長(zhǎng)范圍：400nm到1000 nm
● 波長(zhǎng)分辨率: 1nm
● 光斑尺寸：100μm (4x), 40μm (10x), 8μm (50x)
● 樣品尺寸：標(biāo)準(zhǔn)150×150mm
● 基片尺寸：多可至20mm厚
● 測(cè)量厚度范圍: 10nm 到25 μm
● 測(cè)量時(shí)間：快2毫秒
● 度：0.5％（通過(guò)使用相同的光學(xué)常數(shù)，讓橢偏儀的結(jié)果與熱氧化物樣品相比較）
● 重復(fù)性誤差：小于2 ?
應(yīng)用領(lǐng)域：
● 半導(dǎo)體制造（PR，Oxide, Nitride..)
● 液晶顯示（ITO，PR，Cell gap... ..）
● ，生物薄膜及材料領(lǐng)域等
● 油墨，礦物學(xué)，顏料，調(diào)色劑等
● 醫(yī)藥及醫(yī)藥中間設(shè)備等
● 光學(xué)涂層，TiO2, SiO2, Ta2O5... ..
● 半導(dǎo)體化合物
● 在MEMS/MOEMS系統(tǒng)上的功能性薄膜
● 非晶體，納米材料和結(jié)晶硅
產(chǎn)品可選項(xiàng)：
● 波長(zhǎng)可擴(kuò)展到遠(yuǎn)深紫外光(MSP100)或者近紅外光范圍(MSP500)
● 高功率的深紫外光?用于小斑點(diǎn)測(cè)量
● 可根據(jù)客戶的需求來(lái)定制
● 在動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)研究時(shí)，可根據(jù)需要對(duì)平臺(tái)進(jìn)行加熱或致冷
● 可選擇的平臺(tái)尺寸多可測(cè)量300mm大小尺寸的樣品
● 更高的波長(zhǎng)范圍的分辨率可0.1nm
● 各種濾光片可供各種的需求
● 可添加應(yīng)用于熒光測(cè)量的附件
● 可添加用于拉曼應(yīng)用的附件
● 可添加用于偏光應(yīng)用的附件
● 自動(dòng)成像平臺(tái)多可對(duì)300mm的晶片進(jìn)行操作
