一．測量范圍與分格值
1．x，y向坐標(biāo)
測量范圍： X－Y向 150×100mm（選購200×150mm)
測量分辨率 0.001mm
2．瞄準(zhǔn)顯微鏡
升降行程 120mm
3．測角目鏡
角度測量范圍 360°
分度值 1′
4．輪廓目鏡測量分辨率
角度測量范圍 ±7°
分度值 10′
圓弧分劃板： 曲率半徑 R自0.1至100mm
5．光學(xué)
測頭直徑 φ3±0.1mm
測頭直徑的檢定限誤差 ≤0.0005mm
測量力 0.098±0.0196N
測量深度 15mm
6．玻璃工作臺
玻璃臺面尺寸 (225)
7．承載量 15kg
二．瞄準(zhǔn)顯微鏡光學(xué)參數(shù)
|
物鏡放大倍數(shù)標(biāo)志值 |
l× |
3× |
5× | |
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總放大倍數(shù) |
用測角或輪廓目鏡 |
10× |
30× |
50× |
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用雙像目鏡 |
15× |
42× |
65× | |
|
物方視場 (mm) |
用測角或輪廓目鏡 |
φ20 |
φ6.6 |
φ4 |
|
用雙像目鏡 |
φ13 |
φ4.7 |
φ3 | |
|
工作距離 (mm) |
用測角或輪廓目鏡 |
8l |
90 |
65 |
|
用雙像目鏡 |
47 |
85 |
63 | |
三．儀器
在滿足儀器所規(guī)定的溫度要求條件下，儀器有如下的：
1．x、y向坐標(biāo)
用玻璃mm分劃尺進(jìn)行檢定時(shí)，儀器的準(zhǔn)確度： （4+L/25 ）μm
L —— 為測量范圍，單位：mm
2．測角目鏡
測量角度的不準(zhǔn)確度 ≤1′
3．雙像目鏡
合像的不穩(wěn)定性 ≤0.001mm
合像的不正確性 ≤0.001mm
4．光學(xué)
測量的不穩(wěn)定性 ≤0.001mm
測量的不準(zhǔn)確性 ≤0.0015mm
四．電源
電源頻率 50HZ
功率(不包括數(shù)顯部分) 100W
輸入電壓 AC 220V
輸出電壓 AC 6V
五．儀器重量、體積
儀器主機(jī)凈重
