分辨率可達納米級,主要應用于精密機床、測量機和比較儀、測量顯微鏡、電子工業和半導體工業中的測量設備等其它精密儀器。主要技術指標: *柵距:0.02mm(50線對/mm);0.01mm(100線對/mm) *:0.002mm;0.004mm *響應速度:60m/min *輸出信號:A、B兩路脈沖,相位差90度 *量程:0-900mm *工作電壓:5V(100mA) *信號波型:正弦波
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分辨率可達納米級,主要應用于精密機床、測量機和比較儀、測量顯微鏡、電子工業和半導體工業中的測量設備等其它精密儀器。主要技術指標: *柵距:0.02mm(50線對/mm);0.01mm(100線對/mm) *:0.002mm;0.004mm *響應速度:60m/min *輸出信號:A、B兩路脈沖,相位差90度 *量程:0-900mm *工作電壓:5V(100mA) *信號波型:正弦波