| 類型 | 白光干涉儀 | 品牌 | 智泰 |
| 型號 | SIS-2000 | 品種 | 其他干涉儀 |
| 測量分辨率 | 0.1nm | 用途 | TFT、半導體芯片、材料、微電機系統 |
儀器特點：
1 、非接觸式測量：避免物件受損。
2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。
3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以0.1nm。
5、數字信號處理器：實現測量需要幾秒鐘。
6 、掃描儀：采用閉環控制系統。
7、工作臺：氣動裝置、震、壓。
上海申宏量具工具廠
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