| 類型 | 白光干涉儀 | 品牌 | SNU |
| 型號(hào) | SIS 2000 | 品種 | 其他干涉儀 |
| 測(cè)量范圍 | 200×200×100(mm) | 測(cè)量分辨率 | 0.1nm |
| 用途 | TFT產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體、MEMS、高校科研、精密加工 |
| 品牌: | SNU | 型號(hào): | SIS 2000 | 操作方式: | 自動(dòng) |
| 功能: | 檢測(cè)、觀察、分析 | : | 1nm | ||
| 其它型號(hào): | SIS 1200 | ||||
2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以0.1nm。
5、數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、震、壓。
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
技術(shù)參數(shù)
機(jī)型 | SIS 2000 | |
工作臺(tái) | 尺寸 | 350mm×350mm |
傾斜度 | &plun;3° | |
測(cè)量行程 | X:200mm Y:200mm | |
Z軸行程 | 100mm | |
運(yùn)動(dòng)方式 | 自動(dòng),馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | |
掃描速度 | 30μm/sec | |
垂直分辨率 | 0.1nm | |
CCD | 黑白CCD,640×480像素 | |
物鏡安裝架 | 手動(dòng)5個(gè)位移的可定位夾具 | |
鏡頭選配 | 鏡頭:5×、10×、20×、50× | |
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高校科研
5、精密加工








