射頻發生器(RF)
 （1）電路類型：電容三點式自激振蕩電路。
 (2)工作頻率：40.68MHz   
 (3)頻率穩定性：<0．1％
 (4)輸出功率：800-1200W
 (5)輸出功率穩定性：≤0.3％ 
 (6)電磁場泄漏射強度：距機身30cm
  電場強度E：<2V／m
進樣裝置
(1)輸出工作線圈內徑25mm．3匝
(2)炬管：三同心型．外徑20mm的石英炬管
(3)同軸型噴霧器外徑6mm
(4)雙筒形霧室外徑34.5mm
(5)氣路：
  ①等離子氣流量計(100—1000)L／h  (1.6—16L/min)
  ②輔助氣流量計  (10-100)L／h    (0.16—1.66L/min)
  ③載氣流量采用質量流量計 由計算機控制   （0—5L/min）
分光器
(1)光路：Czerny—Turner
(2)焦距：  1000mm
(3)光柵規格：離子刻蝕全息光柵，刻線密度3600線／mm，刻線面積：80×1 10mm2
            (可選用刻線密度2400線／mm，刻線面積：80×1 10mm2)
(4)線色散率倒數：0 26nm/mm (刻線密度3600線／mm)
(5)分辯率：≤0.008nm (刻線密度3600線／mm)
(6)掃描波長范圍：3600線／mm掃描波長范圍：1 95—500nm
                2400線／ram掃描波長范圍：1 95—800nm
(7)步進電機驅動小步距：0 0006nm
(8)出射、入射狹縫：20um
(9)反射鏡規格：(78×105×1 6)mm
(1 0)透鏡ф30，1：1成像
(1 1)分光器恒溫裝置：32。C&plun;1。C
測光裝置
(1)光電管規格：R21 2UH或R928
(2)光電管負高壓：200—1000V穩定性<0.05％
(3)光電管電流測量范圍：1 0-4～1 0-9 A
(4)信號采集為V／F交換：  1 mV對應100Hz