北京利方達(dá)真空技術(shù)有限責(zé)任公司
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北京利方達(dá)真空技術(shù)有限責(zé)任公司
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經(jīng)營模式：工廠
所在地：北京
主營產(chǎn)品：超高排氣臺;真空爐;鍍膜機;空間濾波器;橢偏儀;真空泵;等離子束濺射鍍膜;電子槍;射頻電源;全光譜光學(xué)膜厚監(jiān)測儀;磁控濺射陰極靶及濺射靶材;真空計;檢漏儀;四極質(zhì)譜;真空閥門;
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| 品牌 | maxtek | 型號 | mdc360c |
MDC-360C型膜厚控制儀
主要特性
? 可同時六個探頭進行監(jiān)測，探頭/晶片的自動轉(zhuǎn)換
? 編程菜單更具有易用性
? 16路輸入和輸出使得系統(tǒng)更易實現(xiàn)自動化
? 可以儲存多達(dá)99種工藝過程，999種定義膜層和32種完整定義的材料
? 可支持6路源輸出
? 多重速率爬升
? 中止過程的自動恢復(fù)功能
? 內(nèi)置材料數(shù)據(jù)庫
? 可命名的工藝過程、材料和輸出，易于識別
技術(shù)指標(biāo)
? 頻率分辨率 在6.0 MHz時0.03 Hz
? 質(zhì)量分辨率 0.375 ng/cm2
? 感應(yīng)晶片頻率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
? 膜厚顯示 0.000～999.9 K?
? 成膜速率 00.0～999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
? 膜層數(shù)量 1～999
? 圖形顯示 256×64 LCD，CCFL背景照明
