| 品牌 | 硅谷 | 型號 | FS1015 |
| 種類 | 流量 | 材料物理性質 | 半導體 |
| 材料晶體結構 | 多晶 | 制作工藝 | 集成 |
| 輸出信號 | 線性，模擬0.5~4.5V（可選RS232） | 防護等級 | IP65 |
| 線性度 | ?（1.5% 0.2%FS）（%F.S.） | 重復性 | ±0.75%（%F.S.） |
| 漂移 | 0.12 |
簡介
FS1015系列微機電氣體質量流量傳感器是專門為各類醫學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。
產品優特點與應用
1、傳感器靈敏度高，有極小的始動流量
2 、持多種連接方式，易于安裝與使用
3、傳感芯片上實現了多傳感集成，使其量程比達到了100：1甚至更高
4 、輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
5 、零點穩定高
6 、全量程高穩定性、高度和優良的重復性
7、低功耗、低壓損<1300pa
8 、響應速度快
