M2030VA  M2030VA質量流量計  LINE TECH質量流量計    氣體質量流量計  
LINE TECH自1997年成立后邁進了氣體控制相關技術工程，終于誕生出今天的M系列，MFC/MFM產品。
   LINE TECH氣體質量流量控制器和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業到工業工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業、醫療設備、氣相色譜儀等相關行業。
主要參數：
流量范圍：               10-30(slpm)
響應時間：               ≤2
精    度：               ≤1%
重 復 性：               ±0.25
輸出信號：               0-5vdc或4-20mA
供電電壓：               15-28vdc 350mA
溫度范圍：               0-50℃
漏    率：               1×10負9次方atm.cc/sec
使用范圍：               2-100% for max range

相關型號：
M3030V  M3030A  M3050V  M3050A  M3100V   M3100A  
M2030V  M2030A  M2050V  M2050A  M2100V   M2100A


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