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方便快捷,經久耐用。
非接觸測量,不會對產品表面造成破壞。
可消除在別粗糙度測量時,測尖無法進入谷底而帶來的測量誤 差,特別適用于對超精后工件表面粗糙度的測量。
非機械測量,不會有探針的損耗,降低了使用成本。
可靠性、重復性高。
采用數值標定,同一類平面只需標定,不需要重復標定,降低了標定成本,并且提高生產效率。
由于激光的相干性好,測量系統結構簡單,免去了一般光源干涉測量儀器視場過小帶來的諸多不便。
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