JY 311-VI.0各感應(yīng)器的測(cè)定原理

根據(jù)藥液比重增大浮力增大, 比重減小浮力減小的原理當(dāng)藥液中銅離子含量增加或減小時(shí), 藥液的浮力也會(huì)變大或減小, 浮力的變化使重量一定的浮球上升或下降, 浮球的升降會(huì)發(fā)生位置變化, 當(dāng)比重達(dá)到設(shè)定值時(shí)  感應(yīng)器將其位能變化量轉(zhuǎn)換為電訊號(hào)傳遞給控制器, 控制器根椐電訊號(hào)判斷藥液比重的大小, 進(jìn)行自來(lái)水添加來(lái)控制比重.

2.鹽酸感測(cè)器(HCL  SENSOR): 電磁式(電能+動(dòng)能→電能)

根據(jù)電磁感應(yīng)原理: 當(dāng)電流通過(guò)感測(cè)器線圈時(shí), 會(huì)產(chǎn)生磁束(磁力線). 該磁束會(huì)依藥液中鹽酸的離子濃度而產(chǎn)生一定比例電流, 再將此電流變化量加以數(shù)值化, 并轉(zhuǎn)換為電訊號(hào)傳給控制器, 控制器根據(jù)電信號(hào)判斷藥液中鹽酸的離子濃度是否正常, 而進(jìn)行控制鹽酸添加.

另溫度感測(cè)器內(nèi)藏于鹽酸感測(cè)器之中, 用來(lái)檢知藥液溫度.

3.氧化劑感測(cè)器(NaCLO3  SENSOR): 電解式(電能→電能)

●H2O2(雙氧水)之概念及測(cè)定原理

雙氧水的氧化性很強(qiáng)，在氯化亞銅氧化為氯化銅的過(guò)程中，能增加蝕刻的速度，就再生劑而言，其扮演著很重要的角色。雖然，空氣中的氧也會(huì)產(chǎn)生再生反應(yīng)，但是，一旦生產(chǎn)量增加時(shí)，氧的再生速度就來(lái)不及，所以為了促進(jìn)蝕刻速度，作為氧化劑的雙氧水是不可缺少的。雙氧水傳感器，是將雙氧水做為蝕刻液再生反應(yīng)的促進(jìn)劑。在小需要量下，控制適當(dāng)?shù)奈g刻液濃度。因蝕刻速度的安定化和使用量的減少，可大幅提高品質(zhì)、降低成本。目的:即是以「如何使用小需要量的雙氧水來(lái)管理藥液品質(zhì)」作為參考量。

   基于這樣的參考量，本再生控制器并不是管理雙氧水，而是檢測(cè)出蝕刻藥液的蝕刻能力；一方面用少的雙氧水來(lái)補(bǔ)足蝕刻液中，由氧氣(O2)再生的不足部份，一方面維持蝕刻生產(chǎn)的穩(wěn)定性。

(1) 根據(jù)鹽酸的再生方式（空氣再生）

●雙氧水傳感器的測(cè)定原理

鉑金點(diǎn)在蝕刻液中反應(yīng)時(shí)，依據(jù)藥液的濃度和蝕刻能力(蝕刻速度)會(huì)產(chǎn)生荷量的變化。雙氧水傳感器會(huì)檢測(cè)出所發(fā)生的電荷量(出力)，并傳送到“ALTEC”控制器。“ALTEC”控制器再將雙氧水濃度和蝕刻速度等的相關(guān)資料入力；雙氧水傳感器所得到的出力在控制器上計(jì)算并顯示。其單位不是MOL/L(濃度)而是用MV來(lái)表示。

●一價(jià)銅離子和二價(jià)銅離子的含量對(duì)于測(cè)定值而言會(huì)有何變化？

當(dāng)基板的銅(Cu)溶解于蝕刻藥液(CuCl2)中，二價(jià)銅會(huì)轉(zhuǎn)變?yōu)橐粌r(jià)銅。(隨著銅的溶解，電位值既ORP值會(huì)下降)。一價(jià)銅和HCl會(huì)因空氣中的O2而產(chǎn)生再生反應(yīng)。但是，生產(chǎn)量大時(shí)，空氣的O2來(lái)不及再生的部份，便需要H2O2做氧化劑。

當(dāng)一價(jià)銅一增加，ORP值就會(huì)下降，而蝕刻液中的一價(jià)銅再生為二價(jià)銅時(shí)，ORP值就會(huì)上升.

4：使用範(fàn)圍

  JY311-V1.0控制器使用與PCB酸性蝕刻，及三氯化鐵的五金蝕刻。