和常規(guī)橢偏儀相比,SPECEI-2000要便宜一半左右,并且還具有以下特點,系統(tǒng)集成了光源、導光器件,可旋轉的偏光鏡、樣品臺、CCD陣列光譜儀等器件,其光源入射角設定在70°,但用戶可根據(jù)需要設定為65到75°,整套儀器想當小巧,尺寸僅為52cm*33cm*24cm。
特點
膜厚準確度在1nm,在0.1nm
可測量多達25層膜厚
每層膜厚可從0.1nm至8um,450-900nm的光譜范圍
光斑大小為2mm*4mm,光學分辨率為200um*400um
適合于平面半透明的材料測量,如晶片、玻璃、薄膜和金屬箔等
可選項包括2D位移功能,標準晶片等
附帶的軟件可以非常容易地存儲和載入不同的測量組合模式
技術指標







