| 品牌 | 新宇宙 | 型號(hào) | 型號(hào):XP-703D |
| 類型 | 便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀 | 測(cè)量范圍 | |
| 測(cè)量對(duì)象 | 環(huán)境管理的檢測(cè) | 測(cè)量 | 10秒以內(nèi) |
| 分辨率 | 尺寸 | (mm) | |
| 重量 | (kg) | 電源 | 5號(hào)堿性電池4只(5小時(shí))/專用AC電源 |
型號(hào):XP-703D
便攜式半導(dǎo)體特氣檢漏儀
特點(diǎn):
? 適合于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
? 采用聲光報(bào)警。
規(guī) 格
型 號(hào) XP-703D
檢測(cè)對(duì)象氣體 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等)
檢測(cè)原理 熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式 自動(dòng)吸引式
可檢測(cè)濃度
(單位:ppm) 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測(cè)表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)








