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氦質譜檢漏儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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1972 年由瓦里安公司首先在氦質譜檢漏儀的設計中提出了逆流式的概念,使得目前的氦質譜檢漏儀全部采用逆流式的方法進行檢漏。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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瓦里安的發明之一,優點在于: |
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·極大的排氣量 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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·前級耐壓高達 18mbar | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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·壓縮比提高了幾個數量級卻絲毫不增加泵的體積和重量,對質量輕的氣體更為顯著。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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特性及優點 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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氦質譜檢漏儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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1972 年由瓦里安公司首先在氦質譜檢漏儀的設計中提出了逆流式的概念,使得目前的氦質譜檢漏儀全部采用逆流式的方法進行檢漏。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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瓦里安的發明之一,優點在于: |
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·極大的排氣量 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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·前級耐壓高達 18mbar | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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·壓縮比提高了幾個數量級卻絲毫不增加泵的體積和重量,對質量輕的氣體更為顯著。 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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特性及優點 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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