高精密、高倍數的測量儀器，在液晶顯示器面板、半導體、LED、PCB太陽能、

加工業等制程中，用來觀察視野內異物不良解析；量測視野長度、角度與跨距

尺寸等，以符合產品規格及客戶的要求。

1.設備概要
影像量測著重於精準度， SYO導電粒子工具顯微鏡

SYO-3020基座採用花剛巖本體結構結構，

克服環境震動問題，可解決高倍率解析時的震動問題，光學系統採用ZOOM 影像光學模組，

人性化電腦量測模式，長久以來，作業者需花費時間進行量測點位搜尋，為使用者設計完
美機型，使操作更便利、量測更迅速。

2.設備構成
2.1 花剛巖本體結構
2.2 玻璃光學平臺（含表面光及底部光模組）
2.3 電動ZOOM 光學系統
2.4 Sony CCD Camera (DC-83)
2.5 軸動系統採精密傳動
2.6 PC 電腦
2.7 影像量測軟體
2.8 Z 軸電動可調速：快、中、慢
2.9 光學尺（X、Y、Z）解析度1um
2.10 跨距：3um+4L/1000mm
2.11 視野內：1um（光學倍率22.5X）
2.12 X、Y 可快速移動

3.規格與需求
3.1 硬體機構之設計規格
3.1.1 花剛巖本體結構
3.1.2 精密級加工製造
3.1.3 移動行程：300mm (X) * 200mm (Y) * 50mm (Z)
3.1.4 光學玻璃檢測平臺
3.1.5 精密級螺桿傳動
3.1.6 表面及底部光源系統
3.1.7 減震膠墊
3.1.8 顯微鏡專用桌

3.2 光學系統
3.2.1. Navita Zoom Lens

3.2.2 光學倍率：3.7X～22.5X
3.2.3 數位總倍率：80X～500X
3.2.4 DIC、上偏光、下偏光（整合於鏡筒）
3.2.5 同軸光源12V 3W LED 燈
3.2.6 底部光源21V150W halogen Lamp Cup

3.3 量測軟體系統
系統:
作業系統：Windows 2000/XP/2003
語言：繁體中文、簡體中文
系統單位切換：(直角/極座標)(公/英制)(度/度分秒)
檔案定時自動存檔
量測採集
多點多段量測
量測歷程影像照相儲存功能、可依序倒退
要素資料可重新量測﹐相關聯資料自動更新
基本要素量測(點﹐線﹐圓﹐弧)
基本要素量測(距離﹐夾角﹐交點﹐中分點﹐中分線)
進階要素量測(矩形﹐槽形)
進階組合量測(垂直線﹐平行線)
十字線自動尋邊取點
函式巨集指令快速測量(一鍵通)
匯入DXF 圖檔-教導測量及圖形比對分析
十字線程式教導/批量測量
複合式進階-程式教導/批量測量
滑鼠快速取點量測
框選工具快速量測(點﹐線﹐圓﹐弧﹐矩形﹐槽形)
座標設定
同步工件座標-工件可任意移動
定義座標系可利用多種要素特性虛擬設定
重設、刪除座標系功能
原點設定/工件擺正(不限執行時間點、次數)
工件/觀測座標切換(快速測量長度、距離)

多組客戶自定座標系
圖形介面
圖形放大、縮小、平移、充滿
影像區/圖形區視窗畫面切換
圖形快速定點2 倍放大縮小
量測圖照相功能(BMP,JPG)
圖形快速點選要素刪除
圖形量測要素編號顯示
CAD 繪圖功能(可輸入數值方式)
CAD 圖形編修(修剪延伸,倒圓角,倒斜角)
CAD 圖形尺寸標註
資料庫
資料圖形報表預覽及列印
資料圖形匯出EXCEL
資料圖形設定圖層顏色參數
要素尺寸摘要設定
資料陣列-位移、複製、鏡射、旋轉
資料庫多選群組刪除
尺寸公差設定
圖形資料可多次刪除/復原刪除(Undo/Redo)
影像
影像照相功能(BMP,JPG)載入圖片
光學尺線性補償
光學尺非線性區段補償
Z 軸輔助對焦
影像XY 尺規、十字線光學尺刻度
影像可顯示、標註量測資料
4 圖校正及直徑校正方式(可記錄切換多組倍率)
可變倍測量、錄巨集、教導(選配定倍鏡頭)
多區段自動光源控制(選配自動光源)