Varian 公司利用干式渦旋真空獲得技術(shù)為用戶提供了高抽速，低限壓強(qiáng)的真空泵產(chǎn)品。干式渦旋泵具有全無油、高耐用性、高性以及易維護(hù)等優(yōu)勢，是眾多應(yīng)用領(lǐng)域的理想前級真空獲得產(chǎn)品。
| 干泵型號 | IDP-2 | IDP-3 | SH-110 | TriScroll 300 | · TriScroll 600 |
| 抽速（l/min） | 30 | 50 | 90 | 210 | 420 |
| 限真空(mbar) | 0.1 | 0.33 | 6.6 x 10-2 | 1.3 x 10-2 | 9.3 x 10-3 |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 | 風(fēng)冷 |
| 體積（mm3） | 351x181x140 | 384 x 240 x 276 | 437 x340 x325 | 471 x355 x343 | |
| 重量（Kg） | 9.5 | 9.5 | 19 | 26.4 | 32 |
IDP-2、IDP-3 干泵是Varian 公司新推出的緊湊型全無油的真空泵，能夠適合廣泛的應(yīng)用需要。IDP-2 是世界上小的渦旋泵，用于各種粗真空獲得應(yīng)用，重量有9.5Kg，能夠輕而易舉地集成到各種實(shí)驗(yàn)、分析、生產(chǎn)系統(tǒng)當(dāng)中。IDP-3 所具有的60/升/分鐘抽氣速度以及 250mTorr（約3a）限壓強(qiáng)，使其在同級別產(chǎn)品當(dāng)中具有無可匹敵的優(yōu)勢。
干泵/干式蝸旋泵產(chǎn)品特點(diǎn)：
◆ 全無油泵，不會污染真空系統(tǒng)
◆ 采用馬達(dá)與軸承的密封設(shè)計
◆ 體積小巧：351x181x140mm
◆ 與老式的膜片式干泵(隔膜泵)相比具有更低的限壓強(qiáng)
◆ 可能造成災(zāi)害性系統(tǒng)故障的機(jī)械部件
◆ 低噪聲，低振動
Varian SH-110全密封干式渦旋泵具有業(yè)內(nèi)的真空獲得性能，結(jié)構(gòu)緊湊，能夠輕易地實(shí)現(xiàn)與現(xiàn)有各種科研、生產(chǎn)設(shè)備的真空系統(tǒng)相集成。此型號單級渦旋泵具有110升/分鐘的抽速(60Hz電源條件下)，可獲得50mTorr(約67Pa)的限真空，即使單獨(dú)作為粗真空獲得設(shè)備也是理想的選擇。SH-110渦旋泵合CE、CSA以及Semi S2-0200等多種標(biāo)準(zhǔn)。
干泵/干式蝸旋泵性能特點(diǎn)：
◆ 工作狀態(tài)下泵體發(fā)熱低
◆ 馬達(dá)功率不到200瓦，低功耗
◆ 內(nèi)置出氣閥門降低工作噪聲
◆ 出氣口位置可以動，以便更好地適應(yīng)空間要求
◆ 高壓區(qū)間抽速高，進(jìn)入真空狀態(tài)
◆ 重量輕，配有把手，易于攜帶
◆ 內(nèi)置故障保護(hù)隔離閥真空系統(tǒng)的
◆ 配有自動氣鎮(zhèn)閥以排空水蒸氣
◆ 維護(hù)簡便，定期更換密封圈即可
TriScroll 300干泵 是Varian公司生產(chǎn)的一款用于初級真空獲得的多級干式渦旋泵產(chǎn)品,具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 300 以高抽速為用戶提供了具有較低限真空的無油潔凈真空環(huán)境。多年的實(shí)際應(yīng)用證明，Varian 的TriScroll 300 設(shè)計具有很高的性和耐用性，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，性價比突出。
干泵/干式蝸旋泵技術(shù)特點(diǎn)：
◆ 的TriScrollTM結(jié)構(gòu)設(shè)計
◆ 具有軸承吹掃功能，保護(hù)軸承不被工藝氣體或粉塵污染
◆ 高性
◆ 具有自動氣鎮(zhèn)口
TriScroll 600干泵 是Varian 公司生產(chǎn)的一款用于初級真空獲得的多干式渦旋泵產(chǎn)品，具有出色的工作穩(wěn)定性。TriScroll 600 以高抽速為用戶提供了具有較低限真空的無油潔凈環(huán)境。多年的實(shí)際應(yīng)用證明,Varian的TriScroll設(shè)計具有很高的性和耐用性，產(chǎn)品性能穩(wěn)定，性價比突出。
