Varian分子泵的產(chǎn)品型號:
| 產(chǎn)品型號 | V81M分子泵 | V81T分子泵 | V301分子泵 | V551分子泵 | V701分子泵 | V1001分子泵 |
| 轉速 rpm | 80000 | 80000 | 56000 | 42000 | 42000 | 38000 |
| 進氣口法蘭 | 40/63 | 40/63 | 100/160 | 100/160 | 200 | 160/200/250 |
| 出氣口法蘭 | 16 | 16 | 16 | 25 | 25 | 40 |
| 抽速L/s N 2 | 50/77 | 50/77 | 250/280 | 350/550 | 690 | 790/950/1050 |
| 壓縮比 N 2 | 5× 108 | 7× 108 | 7×108 | > 1× 109 | 1× 109 | 1× 109 |
| 限壓強 mbar | 5×10-10 | 5×10-9 | <5×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 | <1×10-10 |
| 啟動時間 min | < 1 | < 1 | 2.5 | < 5 | < 5 | < 4 |
| 電源 | 220V | 220V | 220V | 220V | 220V | 220V |
Varian的分子泵幾乎涵蓋了可能的應用領域,的機電一體化的設計,具有前級耐壓高的特性,適用于10-10-10毫巴的真空環(huán)境。Varian的分子泵主要具有以下顯著優(yōu)點:
1. 豐富的產(chǎn)品范圍:覆蓋可能的應用及市場各個層面。
2. MacroTorr技術:抽氣量化;將前級耐壓能力到18 bar;壓縮比數(shù)個數(shù)量級。
3. 整體加工的轉子:每個轉子單塊鋁合金加工而成,重量小化;分子泵可以在360度范圍內以任意角度工作而無需任何調整,降低了作用在材料和軸承上的壓力。
4. 高性,免維護的陶瓷軸承:無油,無污染;平均無故障時間大大增加。
內置控制器可用采用導航控制:簡單并節(jié)省空間的配置;導航軟件可以輕松地進行遠程控制和監(jiān)控。
Varian的分子泵其他特色說明:
Turbo-V 2K-G是一款專為針對工業(yè)應用濺射鍍膜領域設計開發(fā)的分子泵。其各抽氣級甚至整個泵的結構,都是以能在較高氬氣負載和溫度條件下保持抽氣性能為目標來優(yōu)化設計的,它的電路系統(tǒng)具有更多附加特性。
● Varian分子泵的拖動級設計
拖動級由一體化的兩層盤片組成,這樣的設計大大了散熱效率,因而程度地降低了泵運轉時的內部溫度。了在高壓強下對氬氣抽氣時仍保持大抽氣量。
● Varian分子泵內置的充氣及放氣裝置
充氣及放氣閥集成于泵內,充氣保護及放氣過程的控制由內部電路 驅動完成,需要任何部件置于泵體外部。
● Varian分子泵內置的檢測系統(tǒng)
TV-2KG配備了的溫度控制系統(tǒng),使其能夠實時監(jiān)控泵的氣載,功率,及冷卻水溫度,了材料負荷及軸承負荷在范圍內工作。
● Varian分子泵內置型具有水性能的電路系統(tǒng)
TV-2KG的電路系統(tǒng),都置于泵的底殼內,具有水特性,合IP54規(guī)范。
● Varian分子泵一體化機型
分子泵集成了驅動電源,氣體保護配置,模擬I/O信號 RS232接口。








