RTS-9雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序。測試程序在計算機與RTS-9型四探針測試儀連接的狀態(tài)下，通過計算機的并口實現(xiàn)通訊。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并實時采集兩次組合模式下的測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
技 術(shù) 指 標(biāo) ：
測量范圍電阻率：10-4～105 Ω.cm(可擴展)； 10-4~106
方塊電阻：10-3～106 Ω/□(可擴展)； 10-3~107
電導(dǎo)率：10-5～104 s/cm；
電阻：10-4～105 Ω；
可測晶片厚度 ≤3mm
可測晶片直徑 140mmX
200mmX
400mmX
恒流源 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；
分辨力：10μV；
輸入阻：>1000MΩ；
：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±
針間緣電阻：≥1000MΩ；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或鋼Ф
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差
( 按JJG508-87進行) 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字
整機測量相對誤差 (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試)≤±4%
整機測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤4%
計算機通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾；
無強光直射；
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