儀器簡介：
瑞士CSM儀器公司的UNHT型超納米壓痕儀在滿足常規納米壓入測試需求的基礎上，更為對低熱漂移、小載荷壓入與高位移測量與控制等有較高需求的用戶設計制造。它擁有的主動參比測量系統及多電容傳感器以監控壓入載荷和壓入深度，并實時消除噪聲和熱漂移等微小誤差。UNHT型超納米壓痕測試儀是市場上現有的精準的納米與超納米尺度動態壓痕測試儀器。在小尺度蠕變、軟材料、生物材料、超薄膜、弛豫、彈性體等應用領域性能尤為突出。
正弦加載壓入模式（Sinus 態機械分析模式）
正線加載入模式可以通過其動態的測量過程給出材料更為完整的力學信息，例如材料的粘彈性。這種加載模式可以給出材料硬度、彈性模量、存儲模量和損失模量等信息隨壓入深度的連續分布曲線。
瑞士CSM儀器公司三十年來致力于為材料、物理、機械工作者提供先進、精準、全面的材料機械性質測試儀器、分析咨詢以及測試服務。我們的主要產品包括：
測量材料硬度和彈性模量的納米級、微米級儀器化壓入測試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）；
界定膜基結合強度、薄膜抗劃擦能力的納米級、微米級、大載荷劃痕測試儀 (Scratch tester) ；
包括真空、高溫以及線性往復運動等選項的摩擦磨損測試儀、納米摩擦儀 (摩擦磨損試驗機 ；
簡便易用的膜厚測試儀；
用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 (AFM) 和白光共聚焦顯微鏡 (Confocal Microscope) 。
技術參數：
小有效加載載荷： 25uN
有效加載載荷 100mN
有效載荷分辨率 1nN
小接觸力 100nN
壓痕深度 100um
位移分辨率 0.0003nm
位移信號噪聲水平 0.03nm
位移信號穩定水平（或熱漂移） 0.008nm/sec
加載模式 高壓電驅動加載
位移測量 電容傳感器
符合ISO 14577-1，2，3國際標準
加載模式：
線性加載，連續加載卸載，二次項加載，恒應變速率加載，位移控制加載
正弦加載（DMA模式）：
能夠通過壓痕獲得接觸剛度、硬度和彈性模量隨壓痕深度的連續函數分布；
能夠測量材料的儲存模量、損耗模量和阻尼
能夠在壓入過程中通過反饋系統保持恒定的簡諧位移振幅。
簡諧力頻率范圍: 1Hz to 200Hz
XY 工作臺： 120 x 20 mm ，245 x 120 mm (OPX+)
XY 工作臺位移分辨率 ：0.25 μm ，0.10 μm (選件)
光學顯微鏡放大倍率： 200x, 4000x
光學顯微鏡攝像鏡頭： 彩色 768 x 582*
主要特點：
特點
主動參比測量設計實時扣除熱漂移等偽位移信號
超低熱漂移
深度與載荷信號的電容傳感器測量
雙壓電加載裝置（更加可靠的設計）
雙載荷傳感器（閉環力反饋系統）
符合國際標準ISO 和 ASTM
集成自動光學測量系統
帶有反饋系統的載荷加載裝置
儀器操作系統軟件包
可擴展選項
真空或濕度環境控制
原子力顯微鏡
高分辨率工作臺 (0.25微米)
高分辨率CCD光學顯微鏡
環境保護罩
