產品型號:
UNIPOL-160D 雙面研磨拋光機
產品簡介:
UNIPOL-160D 雙面研磨拋光機是一種高雙面研磨和拋光設備. 它能同時對4片2" 的基片進行雙面研磨和拋光, 并獲得在直徑2"區域內TTV 小于1um .所以它是一臺在實驗室研磨拋光Si, Ge 和氧化物單晶基片的理想工具。
帶拋光墊的不銹鋼下磨盤
帶拋光墊的不銹鋼下磨盤
固定不同尺寸的游行輪
技術參數:
1、研磨盤尺寸: 225(外徑)x 94(內徑)x 15(厚度)mm
2、上磨盤的重量及配重: 5.5kg (3kg 配重)
3、游行輪規格: z=54 m=1.5 dia.81mm (環氧)
4、游行輪多使用數量: 4
5、加工基片尺寸: dia. 60mm
6、平面度和平行度: 0.001mm
7、研磨和拋光: +/-0.001mm
8、 表面質量: > grade 10
9、輸入電源: 單相 AC 220v
10、電機: DC110V/600W/0~1500rpm 可調
產品規格:
外形尺寸: 615x375x494mm 凈重: 80kg
可選配件:
一套游行輪有4個,不是標配件,但我司能提供。一個游行輪能固定基片的尺寸和數量如下:
一片直徑 60 mm 或2" 基片
3 片直徑 1" 基片
14 片10x10mm 基片
如需訂購,請告知基片拋光后的尺寸和厚度

