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●圖像分辨率（邊緣分辨率） 2μm左右
●XPS靈敏度 大面積 11，800kcps / 110μmΦ 1，800kcps
27μmΦ 100kcps / (Ag3d5/2、450W）
●小分析直徑（收譜分析） <15μmΦ
采用新開發的雙模式分析器，從數秒至數十秒的時間內得到數μm以下的高分辨元素象、化學狀態象，是真正的成象XPS。并且，若在圖像上以鼠標點擊指定分析位置，則無需移動樣品，便可進行小至15μm微小區域的多點譜分析。配備新一代DLD檢測器，可以超快速分析，實現收譜、成象、快拍（Snap Shot）功能。
