技術參數:
●圖像分辨率(邊緣分辨率) 2μm左右
●XPS靈敏度 大面積 11,800kcps / 110μmΦ 1,800kcps
27μmΦ 100kcps / (Ag3d5/2、450W)
●小分析直徑(收譜分析) <15μmΦ
主要特點:
采用新開發的雙模式分析器,從數秒至數十秒的時間內得到數μm以下的高分辨元素象、化學狀態象,是真正的成象XPS。并且,若在圖像上以鼠標點擊指定分析位置,則無需移動樣品,便可進行小至15μm微小區域的多點譜分析。配備新一代DLD檢測器,可以超快速分析,實現收譜、成象、快拍(Snap Shot)功能。








