5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品，安裝能夠同時測量線性軸的六個誤差，包括1個位置度誤差、2個直線度誤差、3個角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時間進行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個小時即可完成，實際應用結(jié)果表明，節(jié)省時間可達80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子記數(shù)，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補償器，自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設計的多重數(shù)字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到小。
技術(shù)參數(shù)：
5D/6D標準型：
1. 線性：0.5ppm
2. 測量范圍：40米（1D可選80米）
3. 偏擺角和俯仰角的：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：800角秒
5. 滾動角：1.0角秒
6. 直線度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：500um
8. 垂直度：1角秒
9. 溫度：0.2攝氏度
10.濕度：5%
11.壓力：1mmHg
5D/6D精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測量范圍：25米
3. 偏擺角和俯仰角的：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值
4. 范圍：400角秒
5. 滾動角：0.5角秒
6. 直線度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值
7. 范圍：300um
8. 垂直度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
5D/6D高精密型：
1. 線性：0.2ppm
2. 測量范圍：根據(jù)用戶要求而定
3. 偏擺角和俯仰角的：（0.2+0.02/m）角秒
4. 范圍：500角秒
5. 滾動角：0.5角秒
6. 直線度：（0.2+0.05/m）um
7. 范圍：100um
8. 垂直度：0.5角秒
9. 溫度：0.1攝氏度
10.濕度：3%
11.壓力：0.3mmHg
主要特點：
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù)，并評估機床動態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時間