儀器簡介：
●采用UV 激光光源，分辨率可達120納米
●聚焦小步進/行程：10納米(scale resolution of 0.005 mm)/100毫米
●無須復(fù)雜的制樣過程，樣品無須鍍膜導(dǎo)電處理，觀察時無須真空，可放置重樣品（10KG）
●激光安全等級：CLASS 2
●圖像感應(yīng)裝置：光電倍增管
技術(shù)參數(shù)：
1 測量
2D測量：測量范圍1.5mm～1 μm；
不僅是線寬度，也能進行圓的直徑等幾何測量。
3D測量：測量范圍1mm～0.5 μm；
體積、容積、表面積等3D測量；可測量透明膜厚度。
粗糙度分析：適合于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析；
不公是線粗糙度，面粗糙度也能檢測。
2 3D形貌
能獲得3D色彩等多種多樣的信息
等高線顯示、網(wǎng)格狀顯示等方式體現(xiàn)3D信息。
利用微分干涉可識別表面的更加細微的凹凸信息。
3 高分辨率觀察
顯示器倍率為14，400倍。接近SEM的放大率。
接近SEM的高對比度的解像度。
可以分辨常規(guī)顯微鏡所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
利用微分干涉進一步提高分辨率。
實時觀察。
觀察范圍是2，560X2，560μm
主要特點：
● 世界的分辨率、高、XY分辨率可達0.12微米
●3D成像，高測量，Z軸小讀數(shù)0.01微米。
●實時像的獲得和測量同時。
●408nm激光采用
