LYRA 3 XMU/XMH是TESCAN新推出的一款聚焦離子束掃描電鏡,以高品質(zhì),完全計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的設(shè)計(jì)。該型號(hào)樣品臺(tái)行程大，可承受樣品重量甚至可達(dá)10Kg，是現(xiàn)有樣品臺(tái)可載重的掃描電子顯微鏡。使用于航空航天，汽車配件，發(fā)動(dòng)機(jī)等事業(yè)單位和研究單位，其超大的樣品室和載重可為您帶來(lái)無(wú)可比擬的便捷，使得對(duì)一些不方便進(jìn)行切割等處理的樣品的觀察成為可能。
LYRA 3 XMU/XMH是TESCAN新系列掃描電子顯微鏡中配置的型號(hào)。
1.獨(dú)有的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics™）和Tescan特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)，提供了多種工作模式和顯示模式。
2.選配了氣體注入系統(tǒng)。
3.鏡筒內(nèi)沒(méi)有需要機(jī)械對(duì)中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉(zhuǎn)換器”的作用。
5.高吞吐量/自動(dòng)取域。例：自動(dòng)顆粒定點(diǎn)分析。
6.出眾的電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
7.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械真空泵，因而可以快速簡(jiǎn)單得到干凈的真空樣品室。
8.完善的顯微鏡自動(dòng)設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對(duì)中。
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。
10.強(qiáng)大的自動(dòng)功能:全自動(dòng)真空控制,燈絲自動(dòng)加熱,自動(dòng)電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動(dòng)補(bǔ)償偏壓,改變電子束大小，
自動(dòng)調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號(hào)/噪聲比自動(dòng)調(diào)整掃描速度,自動(dòng)對(duì)比/亮度調(diào)整,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)調(diào)整像差等。
11.完全自動(dòng)的軟件安裝.
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實(shí)時(shí)圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲(chǔ)存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096,8192x8192等9種方式。
3)同時(shí)可選擇正方形、4x3長(zhǎng)方形、2x1長(zhǎng)方形等3種尺寸。
4)可同時(shí)顯示任意張實(shí)時(shí)影像或儲(chǔ)存影像。
II.掃描速度：從160ns/圖素到10ms/圖素，可階級(jí)式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描
V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)﹐自動(dòng)對(duì)比調(diào)整(Auto Contrast)﹐去噪聲
化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。
VI.量測(cè)功能：提供量測(cè)任意兩點(diǎn)的距離，量測(cè)任意夾角，不規(guī)則形狀的面積和周長(zhǎng)，劃指示箭頭，寫說(shuō)明文字等13種圖像量測(cè)的功能
VII.圖像存盤：
1).瀏覽已儲(chǔ)存圖像的相本。
2).找尋已儲(chǔ)存圖像的數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)。
3).產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實(shí)時(shí)或儲(chǔ)存的圖像均可處理。
13.卓越的分析品質(zhì);
1)選擇目標(biāo)區(qū)域：以灰階及彩色為起始點(diǎn)-針對(duì)選擇的區(qū)域著色及量測(cè)。
2)3D掃描：可通過(guò)各探頭的配合，顯示真實(shí)的三維圖象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來(lái)測(cè)量分析樣品。
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。
5)打印放大倍數(shù)：調(diào)整顯示屏以及打印輸出時(shí)放大倍數(shù)差異。
6)關(guān)機(jī)時(shí)間設(shè)定：可以設(shè)定次自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間。
7)公差
可選配軟件
8)形態(tài)學(xué)：該軟件可對(duì)樣品圖片進(jìn)行自動(dòng)分析，測(cè)量和分類。其圖片來(lái)源可以是顯微鏡，數(shù)碼相機(jī)等。
9)顆粒度分析：可以對(duì)多區(qū)域內(nèi)的樣品進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，分析和分類（不過(guò)分析樣品必須在掃描窗口內(nèi)）。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用，功能更加完善。
10)自動(dòng)連續(xù)截圖
11)樣品觀測(cè)
12)鼠標(biāo)連接：安裝該軟件后，可以用電鏡的鼠標(biāo)控制其他連接的設(shè)備的鼠標(biāo)進(jìn)行操作。
技術(shù)參數(shù)：
場(chǎng)發(fā)射(FE-SEM)部分：
1.分辨率:
高真空(SE):1.2nm at 30kV,2.0nm at 3kV ,3.5nm at 1kV
低真空模式(LVSTD,BSE):2.0nm at 30kV
2.放大倍數(shù):3 tox
3.真空系統(tǒng):高真空：樣品室<9*10-3Pa，
槍體真空<1*10-6Pa
低真空：7 to 150Pa,高、低真空可隨時(shí)方便切換.
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流1pA—2μA
離子束(FIB)部分：
6.分辨率：<5nm at 30kV and 1pA(在SEM-FIB共焦處）
7.放大倍數(shù):150 tox
8.真空系統(tǒng):槍體真空<5*10-6Pa
9.加速電壓0.5kV to 30kV
10.電子束電流2pA—40nA
11.樣品室內(nèi)部直徑：300mm(寬)*330(深)
樣品室門：280mm(寬) x 310mm(高)
12.樣品臺(tái)行程:
X=130mm——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)(–50 mm to +80 mm)
Y=130mm——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)(–65 mm to +65 mm)
Z=100mm——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
旋轉(zhuǎn)﹕360度連續(xù)——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
傾斜﹕-30度—90度——馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
樣品高度：139mm
13.樣品臺(tái)承重可達(dá)10KG
主要特點(diǎn)：
國(guó)內(nèi)一家使用中文操作界面的電鏡廠商
1.系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了電子束和離子束的共聚焦，有氣體注入系統(tǒng);
2.可以提供四種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,很方便尋找樣品位置;傾斜電子束模式
3.的低真空二次電子探測(cè)器(LVSTD).
4.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測(cè)量同時(shí)觀測(cè)樣品;
5.真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵，F(xiàn)IB電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測(cè)狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
6.采用氣墊減震系統(tǒng)
7.先進(jìn)的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
8.完善的自動(dòng)功能，能幫助您更快更好的獲取圖片
9.9個(gè)以上外擴(kuò)展接口.
10.可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
