MIRA 3 LMH/LMU是TESCAN新推出的高真空?qǐng)霭l(fā)射掃描電子顯微鏡系列,以高品質(zhì),完全計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有很多用戶使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的設(shè)計(jì).
1．高亮度肖特基發(fā)射可獲得高分辨率，高電流和低噪音圖片。獨(dú)有的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了Tescan特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)。
2．結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計(jì)軟件的實(shí)時(shí)電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化。
3．成像速度快。
4．高吞吐量/自動(dòng)取域。例：自動(dòng)顆粒定點(diǎn)分析。
5．出眾的電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
6．由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和無油干式機(jī)械泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。電子槍由離子泵抽真空。
7．完善的顯微鏡自動(dòng)設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對(duì)中。
8．成熟的控制軟件，圖片獲取，存檔，處理和分析功能。
9．網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程控制/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配置。
10.強(qiáng)大的自動(dòng)功能:全自動(dòng)真空控制,自動(dòng)升燈絲,自動(dòng)電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動(dòng)補(bǔ)償偏壓,改變電子束大小，電子束探測(cè)電流自動(dòng)跟隨改變,改變放大倍率，
自動(dòng)調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號(hào)/噪聲比自動(dòng)調(diào)整掃描速度,自動(dòng)對(duì)比/亮度調(diào)整,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)調(diào)整像差,Look Up Table自動(dòng)調(diào)整等。
11.完全自動(dòng)的軟件安裝.
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實(shí)時(shí)影像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲(chǔ)存影像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9種方式。
3)同時(shí)可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
4)可同時(shí)顯示任意張實(shí)時(shí)影像或儲(chǔ)存影像。
II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級(jí)式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描
V. 影像處理(Image processing)：提供15種影像處理功能。
直方圖(Histogram)﹐銳化(Sharpening)﹐等效化(Adaptive Equalisation)﹐
對(duì)比微分化(Differential Contrast)﹐中值濾波(Median Filter)﹐去噪聲
化(Noise Reduction)﹐自動(dòng)對(duì)比調(diào)整(Auto Contrast)﹐陰影補(bǔ)正(Shading
Correction)﹐結(jié)構(gòu)化(Structure)﹐反相化(Invert)﹐灰階化(Convert to
8 bits grayscale)﹐真實(shí)色彩化(Convert to 24 bits true color)﹐影像
旋轉(zhuǎn)90度(Rotation 90 degree)﹐影像翻轉(zhuǎn)(Flip)﹐傅立葉轉(zhuǎn)換(Fourier
Transformation)。
VI.量測(cè)功能：提供13種影像量測(cè)的功能
1).可分析彩色影像的RGB值。
2).可量測(cè)線的長度。
3).可量測(cè)任意兩點(diǎn)的距離。
4).可量測(cè)不規(guī)則形狀的長度。
5).可量測(cè)任意夾角。
6).可量測(cè)不規(guī)則形狀的面積和周長。
7).可量測(cè)圓形的直徑和周長。
8).可量測(cè)任意三點(diǎn)所行成的圓形的直徑和周長。
9).可量測(cè)橢圓形的長、短軸長度和周長。
10).可量測(cè)正方形面積。
11).可量測(cè)長方形長和寬。
12).可量測(cè)四邊形長、寬和周長。
13).可量測(cè)任意兩點(diǎn)的距離(任何放大倍率下﹐誤差小于3%)。
14).可劃指示箭頭。
15).可寫說明文字。
16).可在影像上標(biāo)示Micro Bar。
17).字型、字體大小、顏色可任意設(shè)定。
18).可列表作統(tǒng)計(jì)處理,并可以儲(chǔ)存。
19).實(shí)時(shí)或儲(chǔ)存的影像均可處理。
VII.影像存盤：
1).瀏覽已儲(chǔ)存影像的相本。
2).找尋已儲(chǔ)存影像的數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。
3).產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實(shí)時(shí)或儲(chǔ)存的影像均可處理。
13.卓越的分析品質(zhì);
1)選擇目標(biāo)區(qū)域：以灰階及彩色為起始點(diǎn)-針對(duì)選擇的區(qū)域著色及量測(cè)。
2)3D掃描：可通過各探頭的配合，顯示真實(shí)的三維圖象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來測(cè)量分析樣品。
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。
5)打印放大倍數(shù)：調(diào)整顯示屏以及打印輸出時(shí)放大倍數(shù)差異。
6)關(guān)機(jī)時(shí)間設(shè)定：可以設(shè)定次自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間。
7)公差
可選配軟件
8)形態(tài)學(xué)：該軟件可對(duì)樣品圖片進(jìn)行自動(dòng)分析，測(cè)量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡，數(shù)碼相機(jī)等。
9)顆粒度分析：可以對(duì)多區(qū)域內(nèi)的樣品進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量，分析和分類(不過分析樣品必須在掃描窗口內(nèi))。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用，功能更加完善。
10)自動(dòng)連續(xù)截圖
11)樣品觀測(cè)
12)鼠標(biāo)連接：安裝該軟件后，可以用電子顯微鏡的鼠標(biāo)控制其他連接設(shè)備的鼠標(biāo)進(jìn)行操作。
技術(shù)參數(shù)：
1. 分辨率:高真空(二次電子):1.0nm at 30kV,1.2nm at 15kV,2.0nm at 3kV,3.5nm at 1kV
(背散射電子): 2.0 nm at 30 kV(LMH型選配，LMU型標(biāo)配)
低真空(低真空二次電子)﹕1.5 nm at 30 kV ,3.0 nm at 3 kV (LMU型選配)
2.放大倍數(shù):4 tox
3.真空系統(tǒng):樣品室/高真空<9*10 -3Pa，
樣品室/低真空7-150Pa(LMU型標(biāo)配)
槍體真空<3*10 -7Pa
4.加速電壓0.2kV to 30kV
5.電子束電流2pA—100nA
6.樣品室內(nèi)部直徑：230mm
7.樣品臺(tái)行程: (5軸馬達(dá)控制)
X=80mm——馬達(dá)控制
Y=60mm——馬達(dá)控制
Z=47mm——馬達(dá)控制
R=360°連續(xù)馬達(dá)控制
T=-80°到+80°馬達(dá)
樣品高度81mm.
主要特點(diǎn)：
國內(nèi)一家使用中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中;
2.可以提供四種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,很方便尋找樣品位置;
3.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測(cè)量同時(shí)觀測(cè)樣品;
4.真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵，電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測(cè)狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
5.采用氣墊減震系統(tǒng)
6.先進(jìn)的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
7.11個(gè)外擴(kuò)展接口.
8.可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
