FPD/LSI檢查顯微鏡
ECLIPSE L300N 反射專用型
ECLIPSE L300ND 透反射兩用型
集尼康光學技術于一身的CFI60光學系統,在亮度、對比度和可操作性能方面都達到新的高度,適合于大直徑硅片或大型液晶板的檢查。
觀察樣品:ECLIPSE L300D 300 mm硅片; ECLIPSE L300ND 300 mm硅片。 觀察倍率15X~3000X(視目鏡和物鏡的組合而定); 使用CFI60光學系統,徹底消除耀斑影響,對比度更高,成象更加清晰、明亮; 物鏡齊焦距為60mm,可以兼顧高數值孔徑和長工作距離兩方面的要求; 主機剛性高,具有很好的抗振性能,具有防塵、防污染、防靜電功能; 光亮調節、孔徑調節、物鏡轉換等操作都集中在前面,使用方便,即使長期操作也不易產生疲勞;
L300ND/反射.透射照明兩用型
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規格 | ||
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ECLIPSE L300N |
ECLIPSE L300ND |
| 主機 |
內置12V-50W鹵素燈光源;內置用于電動控制器的電源 | |
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物鏡轉換器:具備物鏡轉換器 | ||
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反射/透射切換器 | |
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調焦部分 |
對焦部:行程29mm | |
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反射照明部 |
12V50W高亮度鹵素燈照明裝置 | |
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透射照明部 |
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12W50W高亮度鹵素燈照明裝置 |
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接口 |
USBx1,RS232C(用于Intensilight)x1 | |
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鏡筒 |
L2-TTA超大視場正立調傾式三目鏡筒(視角0~30°) | |
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目鏡 |
CFI目鏡 | |
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物鏡 |
CFI60系列物鏡 | |
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載物臺 |
14x12載物臺、行程354mmx302mm(透射觀察范圍:354mmx268mm) | |
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防靜電功能 |
從1000到10V放電時間在0.2秒以內 | |
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耗電 |
1.2A/90W | |
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尺寸 |
約360(W)x581(H)x951(D)mm(傾斜角度為10°時) | |








