平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學(xué)測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學(xué)玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學(xué)測量平面的平面度誤差為:1級的為0.03～0.05微米；2級的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的長度一般為200毫米。

1、平面平晶 YDF-1 標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸 單位：mm

規(guī)格30 45 60 80 100 150 200 250

直徑30 45 60 80 100 150 200 250

高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶

規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形平面平晶,方形平面平晶可定做.

2、平面平晶制成兩種： 1級 和 2級

3、平面平晶工作面的平面度偏差允許值為：

直徑為 30至60mm 1級平晶 0.03μm

直徑為 30至60mm 2級平晶 0.1 μm

直徑為 80至150mm 1級平晶 0.05μm

直徑為 80至150mm 2級平晶 0.1 μm

更大尺寸平面平晶平面度偏差允許值，根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)。

4、平面平晶工作面的局部偏差允許值為： 0.03μm

5、平面平晶測量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持?jǐn)?shù)小時后進行。