F6000系列
產品描述
煒盛 的F6000系列MEMS皮拉尼真空傳感器提供了
一個性的真空測量方案。該傳感器外形微小，同
時又具有功耗，長壽命，低現場維護，和
的優點。
依據“氣體熱導系數與低真空范圍壓力成正比”的原
理，煒盛真空傳感器測量加熱元件上由于傳熱到周圍的
氣體而導致的細微的電阻變化。
皮拉尼真空傳感器
該加熱元件（即測量電阻）是由一個置于一張隔熱膜
上的鉑薄膜電阻構成。隔熱膜懸覆在一個微加工的
25祄深空腔上，空腔底部表面與隔熱膜平行，以
精密測量傳熱率。由于被測氣體體積小（即空腔容
積小），煒盛傳感器能夠提供的功耗和快速的
響應時間。
煒盛真空傳感器還提供了
一個與測量電阻具有相
同電阻溫度系數（TCR）
的基準電阻，布置在傳
感器芯片基板上。傳感
器電路可用它來進行環
境溫度補償。
由于具有性高，成本低，使用簡便和功耗的
逐項優點，采用MEMS工藝加工的，微型化的皮拉尼技
*術正在成為一個行業標準。煒盛 的F6000系列
MEMS皮拉尼真空傳感器可以幫助客戶充分利用這一趨
勢，以其現有的產品和開發新的產品。
實際應用
·分析儀器
·使用前級真空的封閉系統的檢漏
·半導體設備
·真裝機
·便攜式數字真空計
·小型機械系統（如泵）以規定的真空度
·真空開關來驗證1托以下的真空度
指標
·工作溫度：-40C至125C（可提供更高溫度型號）
·濕度：0到100％RH，非冷凝
·耐沖擊性：1000g
·壓：27.5Bar
輸出電壓與真空的關系
加熱電流=6毫安 溫度= 25℃ 測量電阻=156歐姆
電話：/
網址：www.winsensor.com
