| 型號 | 玻璃厚度及翹曲在線測量儀 | |
| FL-5000 | ||
| 測量范圍 | 根據物件尺寸定制 | |
| 外形尺寸 | 根據物件尺寸定制 | |
| 激光重現性 | ≤ 0.5 μm | |
| 工作臺承重（kg） | 2.5kg | |
| 機臺重量 | 100kg | |
| 測量 | 視物件大小而定（直徑100范圍內，約5μm） | |
| 控制方式 | 自動 | |
| 儀器厚度測量 | ≤ ±0.005mm | |
| 儀器翹曲測量 | ≤ ±0.025mm | |
| 儀器重現 | ≤ ±0.005mm | |
| 儀器效率 | 1200件/時 | |
| 檢測系統 | 激光位移感測系統 | |
| 電源 | 220 V ± 10% ，50 Hz （用電設備要求接地：接地電阻小于4歐姆） | |
| 工作環境 | 20℃ ± 2℃，溫度變化＜2℃/hr，濕度45% ~ 75% | |
| 振動＜0.002g，低于15Hz | ||
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