性能特點l 用途1）WX40系列為新型FPD檢查顯微鏡，專為LCD行業(yè)/TFT玻璃/COG導電粒子壓痕、粒子爆破檢查；2）WX40系列機型采用4寸、6寸平臺設(shè)計，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或小尺寸樣品的金相檢查； l 特點1）WX40系列，其微分干涉效果可與品牌；2）WX40系列機型采用設(shè)計的長工作距物鏡、半復消色差技術(shù)，多層寬帶鍍膜技術(shù)，采用長壽命LED光源；3）多種高度功能化的附件，能滿足各種檢驗需要，可用于明場、簡易偏光、微分干涉觀察；技術(shù)參數(shù) （以下參數(shù)根據(jù)客戶實際需求配置）
| 配 置 | 參 數(shù) |
| 光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
| 觀察方法 | 明場 / 斜照明 / 偏振光 / DIC |
| 觀 察 筒 | 30°鉸鏈式三目，分光比，雙目：三目=100：0或50：50 |
| 目 鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 |
| 轉(zhuǎn) 換 器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 |
| 物 鏡 | 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm |
| 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡10X LMPL10X/0.30 WD10mm | |
| 無限遠長工作距平場消色差金相物鏡20X LMPL20X/0.45 WD4mm | |
| 無限遠長工作距平場半復消金相物鏡50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm | |
| 無限遠長工作距平場半復消金相物鏡100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm | |
| 調(diào)焦機構(gòu) | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm，微調(diào)0.001，帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器，單路電源輸出 |
| 載 物 臺 | 4寸雙層機械移動平臺，行程105X105mm，帶金屬平板平臺，右手位X、Y移動手輪6寸三層機械移動平臺，行程158X158mm，玻璃工作臺，右手位X、Y移動手輪，帶離合器手柄，可快速移動（選配）另可選配：8寸移動平臺 |
| 照明系統(tǒng) | 反射：帶可變視場光闌與孔徑光闌，均可調(diào)中心；帶濾插槽與偏光裝置插槽；帶斜照明切換拉桿；單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào)；：單顆大功率5W LED，白色，光強連續(xù)可調(diào)；帶可變孔徑光闌 |
| 偏光附件 | 檢偏鏡可360度旋轉(zhuǎn)，起偏鏡和檢偏鏡均可移出光路 |
| V接口 | 1X、1/2X |
