Ultrapure-100是一個近似于的系統,易于安裝或集成到現在系統中。如FMS(facility monitoring system )或 BMS(building management system)。也可以選擇作為一個的測試儀器,還有許多可用的兼容配套軟件。
特點:
0.1和0.2μm的標準顆粒尺寸,可在0.1和5.0μm范圍內定制
好的流量控制和動態的入口壓力調節具備快的清潔和恢復時間
高流速了快速的清洗時間
的流量調節,一體化設計了低維護量
激光能量診斷,顆粒計數軟件和的可追溯NIST標準4-20mA輸出
應用:
電子半導體制造純水系統顆粒計數檢測
性能:
測量粒徑尺寸(μm):0.1,0.2 系統流速>1L/min
樣品流速 10ml/min, 樣品壓力設置30-100psig
光源采用激光二管










