無需靶鏡的高激光自干涉儀

產品介紹：

傳統的激光干涉儀通常需要在被測目標上設置靶鏡，以反射測量光線，獲得高測量效果。清華大學推出國際光的LY1000非接觸式激光干涉儀，無需反射靶鏡，利用待測物工件自身反射的光線即可實現高的測量

應用場所介紹

除傳統激光干涉儀使用的測量目標外，還適合于微、小、輕、薄、毒、易變形等不適合安裝靶鏡的測量目標，如液面高度、半導體晶圓位置、微機械位移、材料膨脹系數等

系統特點

1無需靶鏡、非接觸式測量、量測可達5M

2被測物表面反射率無嚴格要求，可測“黑”表面

3采用激光自干涉原理，線性測量可達1*10-6次方

4無外部光學器件、無需調整光路、操作靈活方便

5自動環境補償，測量高

規格參數

激光頭尺寸                          265*90*78mm

激光頭重量                          4Kg

激光工作波長                       1064nm

激光功率                              1-5mW

激光光束直徑                       3-5mm

工作溫度范圍                        0℃-+40℃

系統組成                              激光頭、控制箱、補償傳感器、筆記本電腦、連接電纜

激光穩頻                        1*10-6

線性測量范圍                        5m

線性測量                        1*10-6

分辨率                                  1nm

被測物反射率                          10-7——1

測量速度                          50mm/s