上海續(xù)波光電技術(shù)有限公司
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肖天宇先生(聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是在維庫(kù)儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)
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圓柱形主腔體：電拋光不銹鋼
低溫泵+干泵，真空度< 4×10 -8 Torr。
三個(gè)6’’ DC磁控靶源，可達(dá)8英寸；
分別配備擋板，無(wú)交叉污染。
RF加載到DC靶源可選，可用DC/RF。
氬氣和氮?dú)鈿饴房捎?/span>
4’’襯底加熱：750℃, 均勻性5℃內(nèi)；單色光學(xué)高溫計(jì)
樣品臺(tái)冷卻：水冷
石英晶振監(jiān)測(cè)（DC/RF模式下均可）
襯底R(shí)F刻蝕及偏壓（13.56MHz，氣冷）
LOAD LOCK （帶自動(dòng)傳動(dòng)手臂）
分子泵+干泵，真空度< 2×10-7 Torr
全自動(dòng)傳動(dòng)襯底
控制單元：全自動(dòng)電腦控制，半自動(dòng)和手動(dòng)模式可選；遠(yuǎn)程維護(hù)可用。
