詢價
- 是否全新：全新
- 復精度：+0.2 % F.S.
- 響應時間：s2 sec ≤10SLM
- 工作壓差：(14.5~72.5 psid)
- 工作環境： 5°C~45°C
- 電源：+15V 50 mA; -15V 200
氣體流量控制器XLRB-D07-19B氣體流量控制器XLRB-D07-19B
質量流量計(Mass Flow Meter縮寫為MFM)用于
對氣體的質量流星進行測量;質量流量控制器
(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對氣體的
質量流量進行測量和控制。它們在半導體微電
子工業、te種材料研制、化學工業、石油工業、醫
藥、和真空等多種領域的科研和生產中有著重
要的應用。其典型的應用場合包括;電子工藝設
備,如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺
射、離子注入;以及真空鍍膜設備、光纖熔煉、微
反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜
儀及其它析儀器。
( 0~ 5,10,20,30,50,100,200,
流量規格
300,500) CCM
( 0~1,2,3,5,10,20,30) LM
2
準確度
士1 % F.. (20,30LM: +2
% F..)
+0.5 % F.. (20,30LM:
3
線性
+2 % F..J
4
復
+0.2 % F..
5
響應時間
s2 sec
≤10LM: 0.1 ~ 0.5 MPa
6
工作壓差
(14.5~72.5 psid)
范
> 10LM: 0.1~ 0.3 MPa
(14.5~43.5 psid)
7
大工作
1 MPa
8
耐壓
3 MPa (435.1 psig)
9
工作環境
5°C~45°C
溫度
0V~+5.00V.
10
輸入輸出
(輸入阻抗大于100K,輸出電
號
流不大于3mA)
11
電源
+15V 50 mA; -15V 200
mA
12
外形尺寸
見圖4
13
重量
0.95 kg
注意:質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮
氣(N2)定。
質量流量的單位規定為; CCM (準升/);
LM (準升/)
準狀態規定為:溫度--- 273.15K (0°C );
氣壓- 101325 Pa (760mm
Hg)，單位CCM
和"ml /min, 0°C,1atm”等同，單位LM和"L/
min, 0°C,1atm"等同。
F.. (Full cale):滿量程值
氣體流量控制器XLRB-D07-19B氣體流量控制器XLRB-D07-19B氣體流量控制器XLRB-D07-19B
