光柵尺M系列推薦應用領域：長度≤400mm，由于尺身安裝體積較小，可以滿足精密儀器如投影儀、工具顯微鏡、影像測量儀等對光柵尺安裝空間有限制的設備。
光柵傳感器基本參數
| 型號 | M1 | M5 |
光柵柵距 | 20um(0.020mm),10um(0.010mm) | |
光柵測量系統 | 式紅外光學測量系統，波長：880nm | |
讀數頭滾動系統 | 垂直式五軸承滾動系統 | |
分辨率 | 1um | 5um |
行距 | 50～400mm | |
工作速度 | 0.3m/s(1um) 、1m/s(5um) | |
輸出訊號 | TTL,RS422 | |
工作電壓 | 5V&plun;5%DC | |
工作環境 | 溫度：-10～45°C 濕度≤90% |
| Mini M系列1um標準光柵尺： | ||||||
| 序號 | 長度 | 分辨率 | 工作速度 | 型號 | 貨號 | |
| 1 | 50mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-50 | 10-010-00050 |
| 2 | 100mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-100 | 10-010-00100 |
| 3 | 150mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-150 | 10-010-00150 |
| 4 | 200mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-100 | 10-010-00200 |
| 5 | 250mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-250 | 10-010-00250 |
| 6 | 300mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-300 | 10-010-00300 |
| 7 | 350mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-350 | 10-010-00350 |
| 8 | 400mm | 1um | &plun;5um | 0.3m/s | M1-400 | 10-010-00400 |
| Mini M系列1um光柵尺： | ||||||
| 序號 | 長度 | 分辨率 | 工作速度 | 型號 | 貨號 | |
| 1 | 50mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/50 | 10/010/00050 |
| 2 | 100mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/100 | 10/010/00100 |
| 3 | 150mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/150 | 10/010/00150 |
| 4 | 200mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/100 | 10/010/00200 |
| 5 | 250mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/250 | 10/010/00250 |
| 6 | 300mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/300 | 10/010/00300 |
| 7 | 350mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/350 | 10/010/00350 |
| 8 | 400mm | 1um | &plun;3um | 0.3m/s | M1/400 | 10/010/00400 |
| Mini M系列5um標準光柵尺： | ||||||
| 序號 | 長度 | 分辨率 | 工作速度 | 型號 | 貨號 | |
| 1 | 50mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-50 | 10-050-00050 |
| 2 | 100mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-100 | 10-050-00100 |
| 3 | 150mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-150 | 10-050-00150 |
| 4 | 200mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-100 | 10-050-00200 |
| 5 | 250mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-250 | 10-050-00250 |
| 6 | 300mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-300 | 10-050-00300 |
| 7 | 350mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-350 | 10-050-00350 |
| 8 | 400mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5-400 | 10-050-00400 |
| Mini M系列5um光柵尺： | ||||||
| 序號 | 長度 | 分辨率 | 工作速度 | 型號 | 貨號 | |
| 1 | 50mm | 5um | &plun;3um | 1m/s | M5/50 | 10/050/00050 |
| 2 | 100mm | 5um | &plun;3um | 1m/s | M5/100 | 10/050/00100 |
| 3 | 150mm | 5um | &plun;3um | 1m/s | M5/150 | 10/050/00150 |
| 4 | 200mm | 5um | &plun;5um | 1m/s | M5/100 | 10/050/00200 |
| 5 | 250mm | 5um | &plun;3um | 1m/s | M5/250 | 10/050/00250 |
| 6 | 300mm | 5um | &plun;3um | 1m/s | M5/300 | 10/050/00300 |
| 7 | 350mm | 5um | &plun;3um | 1m/s | M5/350 | 10/050/00350 |
| 8 | 400mm | 5um | &plun;3um | 1m/s | M5/400 | 10/050/00400 |
