工作臺：
回轉軸機構方式：的多孔靜壓式空氣軸承系統
回轉：JI7451（0.04+0.0005H）μm
回轉速度：1-10rpm(可調)
工作臺尺寸：φ180mm
調心調整范圍：±2mm(手動)
傾斜調整范圍:±1°
承載重量：20KG
測定直徑：φ368mm
承載直徑：φ510mm
上下機動部：
真直度測定：0.4um/100mm(0.8um/300mm)
移動量：300mm
移動速度：0.5,1,2mm/s(手動可)
測定高度：外徑545mm 內徑320mm
半徑方向移動部：
移動量：160mm(電動，自動停止，手動)
小位置顯示：0.01mm
檢出器：
測定力：100mN（10gf）以內可變
測定范圍：1800um(b STYLUS ARM使用時,)
觸針：半徑R0.8mm硬
增幅演算裝置：
濾波器(filter)：2CR一般，2CR補償。
倍率：10-100000。
評價法：MZC，LSC，MIC，MCC，LSL，MZL 共六種。
測定項目：真圓度，平面度，圓筒度，同軸度，同心度，直角度，真直度，平行度，面平行度。
補助機能：部分圓測定機能，直線展開圖形，立體圖形，自動測定機能，再演算機能。
記錄裝置：
Color Printer
電源：
AC100V±10﹪，50/60Hz
