產品品牌：

美國AE(Advanced Energy)

產品型號：

FC-PA780/7800

Aera Transformer 數字式質量流量控制器（MFC）和質量流量計（MFM）適用于多種不同的應用，包括CVD、PVD、擴散和刻蝕等等，將改變您的工藝，提供靈活性和效率，從而帶來更多的產量、更高的生產率，和更低的成本。先進的傳感器和閥技術，經過現場應用驗證的平臺組件以及高速的數字線路帶來當今精準的氣體流量控制。憑借無與倫比的可靠性和出色的反應、性和可重復性，這一系列的產品包括單氣體和多氣體、多量程的MFC以滿足您在數值和功能上的要求。

Advanced Energy 的Aera FC-PA780系列質量流量控制器是更新、更低造價、更適于多種流量范圍、多種氣體的數字型MFC。它可應用在CVD,PVD,ALD和蝕刻工藝中。該產品有新設計的測量裝置和閥門，其他原件與已使用證實的FC-D980,FC-7800相同。FC-PA780系列為設定值的1%，流量為滿量程的25%，零點漂移小于0.5%。新的測量裝置改進了度，可靠性，和熱反應性，而新的閥門與壓電型閥有同樣快的速度（小于1秒）。為便于在各種控制系統上工作，FC-PA780可進行模擬和數字型控制，并與RS-485和DeviceNet兼容。數控性能包括自動回零，報警，流量漸升，總流量統計，氣流監控，和數據收集。作為一個選擇項，MFC的數字型 數據采集裝置可隨時連接使用。

優點：

>出色的性能（性、可重復性和穩定性）

>無與倫比的可靠性

>全面的通信與控制

>易于整合

>簡單，通用性

>大幅節約成本

>的服務和支持

特性

>多氣體、多量程選擇

>反應迅速（小于1秒）

>全金屬密封和超純設計

>可現場編程

>無限氣體選擇，無需重新校準

>DeviceNet、RS-485或0~5Vdc模擬控制

>多警報和診斷功能