- 產品品牌:
- 日本.日立
- 產品型號:
- HD-2700
- 類型:
- 光學顯微鏡
詳細信息
電鏡球差校正技術的實用化,使得同時進行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立高新技術公司與CEOS公司共同的努力,成功地開發出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
HD-2700通過球差校正,用大會聚角獲得了亞納米級電子束,在分辨率和分析性能獲得重大的進步。
HD-2700共有三種型號,分別是配有球差校正的高分辨型和標準型,以及無球差校正型,可根據應用需求選擇。
特點:
1.高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DF-STEM像(標準型)
2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍),可以進行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時間內獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了專用的GUI自動調節球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容,提供了納米尺度的整體解決方案:從制樣到數據獲得和終分析
5.多種評價/分析功能可選
*同時獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實時元素Mapping系統(DF-STEM像可以同時獲得)
*實時衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時觀察)
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進行三維分析(360度旋轉)
*的放大倍率校準功能
| 技術指標 | ||
| 項目 | 描述 | |
| 分辨率 (晶格分辨率) |
1、配有球差校正的標準型 0.144nm,電子槍:冷場或熱場 | |
| 2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm,電子槍:冷場 | ||
| 3、無球差校正型 0.204nm,電子槍:熱場 | ||
| 加速電壓 | 200KV | |
| 放大倍率 | 100x -10,000,000 | |
| 圖像模式 |
圖像模式相襯度像(TE像) | |
| 原子序數襯度像(ZC像) | ||
| 電子衍射花樣(可選) | ||
| 特征X射線像(可選:EDX) | ||
| EELS像(可選:ELV-2000) | ||
| 電子光學 |
電子槍 | 場發射電子源,內置陽極加熱器 |
| 透鏡系統 | 兩級聚光鏡、物鏡、投影鏡 | |
| 球差校正器 | 六極/傳輸雙重(標準型和高分辨型) | |
| 掃描線圈 | 兩級電磁線圈 | |
| 電位移 | 0.5μm | |
| 樣品桿 | 類型 | 側插式 |
| 移動范圍 | X,Y=±1mm,T=±30°(單傾樣品桿) | |
| 操作系統 | Windows XP | |








