產品名稱:氣體質量流量控制器(MFC/MFM)
氣體流量控制器標準量程(N2):0~5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM;
0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200SLM;
氣體流量控制器準:±1%F.S; 重復:±0.2%F.S
響應時間:電特性 <10sec 氣特性<1~4sec
氣體流量控制器線性:±(0.5~1)%F.S 工作壓差范圍:0.05~0.3MPa
氣體流量控制器耐壓:3,10MPa; 工作環境溫度:5~45℃
氣體流量控制器輸入輸出信號電壓:0~+5.00V
氣體流量控制器電源:+15V500mA、-15V500mA(輸入阻抗大于100K,輸出電流不大于3mA)
氣體流量控制器電連接器:D14pin
氣體流量控制器外形尺寸:130*28*121mm
氣體流量控制器重量:約1.0kg
氣體流量控制器接口尺寸:Swagelok:Φ3.Φ6.Φ10.Φ1/4〞.Φ3/8〞....
VCR接頭:Φ1/4〞.Φ3/8〞.Φ1/8〞........
公司氣體流量控制器介紹:
1.氣體流量控制器/DSN-B型
MFM/MFC
特性:DSN-B型
MFC/MFM
(氣體-流量范圍30-200SLPM)
本氣體流量控制器采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器,氣體層流結構精密均勻,高耐腐蝕,使得MFC氣體流量控制器具有更優越的性能優勢:
1.高的可靠性、穩定性和重復性。
2.高精密的控制機構。
3.高速響應 MFM< 0.5秒; (MFC通常< 4s)。
4.長壽命(正常使用可達十年以上)。
5.氣體流量控制器采用微小尺寸的傳感器,消除了“傳感器”本身熱效應對層流的破壞,“零點漂移”小于1%。
6.氣體流量控制器可自行清除工作過程中的表面污物(注:此項操作須在生產廠家進行)。
7.氣體流量控制器適應于一切氣體(包括腐蝕性氣)。
8.氣體流量控制器采用一體化設計,具有優越的抗電磁干擾性能。
2.D-600MD數字型質量流量計
特性:D-600MD 氣體流量控制器產品采用單電源供電(6~16VDC);一體顯示,也可以直接連電腦顯示;數字,
模擬輸入輸出;具有多氣體多量程,高,極低零漂,軟起動功能及強大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式:
1、1 模擬輸入 :外部 0~5VDC或4~20 mA ;
可選內部物理量(0~5VDC或4~20mA 狀態下的% 、滿量程)輸入
1、2 數字輸入: PC上位機軟件設定(RS232 或者RS485)
2、兩種輸出方式:
2、1 模擬輸出 : 0~5VDC或4~20 mA ;
2、2 數字輸出:通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機
D-600MD數字型質量流量控制計主要指標:
氣體流量控制器流量規格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
0~1、2、3、5、10、20、30 )SLM
氣體流量控制器準確度: ±1%F.S.
線性: ±0.5%F.S.
重復: ±0.2%F.S.
響應時間: ≤1Sec
氣體流量控制器工作壓差范圍:(0.05~0.3)MPa
耐壓: 10Mpa
氣體流量控制器工作環境溫度: 5~65℃
電氣連接: 8 針(小型圓插頭)
輸入/輸出信號 Digital:RS232/RS485
; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
氣體流量控制器電源: 6~16VDC ;1A
標準接頭: Swagelokφ6;Swagelok 1/4″;VCR1/4″
3.D-300C數字型氣體流量控制器
氣體流量控制器特性:D-300C 產品采用單電源供電(6~16VDC);數字,模擬輸入輸出;可以直接連電腦顯示,
也可以連二次儀表顯示;D-300C氣體流量控制器具有多氣體多量程,高,極低零漂,軟起動功能及強大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式:
1、1 模擬輸入 :外部 0~5VDC或4~20 mA ;
1、2 數字輸入: PC上位機軟件設定(RS232 或者RS485)
2、兩種輸出方式:
2、1 模擬輸出 : 0~5VDC或4~20 mA ;
2、2 數字輸出:通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機D-300C數字型質量流量控制器主要指標:
D-300C氣體流量控制器流量規格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
0~1、2、3、5、10、20、30 )SLM
D-300C氣體流量控制器準確度: ±1%F.S.
線性: ±0.5%F.S.
重復: ±0.2%F.S.
響應時間: ≤1Sec
D-300C氣體流量控制器工作壓差范圍: (0.05~0.3)MPa
耐壓: 10Mpa
D-300C氣體流量控制器工作環境溫度: 5~65℃
電氣連接: 8 針(小型圓插頭)
輸入/輸出信號 Digital:RS232/RS485
; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
D-300C氣體流量控制器電源: 6~16VDC ;1A
標準接頭: Swagelokφ6;Swagelok 1/4″;VCR1/4″
4.D-300M數字型氣體流量控制器
D-300M數字型氣體流量控制器特性:產品詳細描述:
D-300M 產品采用單電源供電(6~16VDC);數字,模擬輸入輸出;可以直接連電腦顯示,
也可以連二次儀表顯示;具有多氣體多量程,高,極低零漂,軟起動功能及強大的客戶端使用軟件。
1、 兩種輸入方式:
1、1 模擬輸入 :外部 0~5VDC或4~20 mA ;
1、2 數字輸入: PC上位機軟件設定(RS232 或者RS485)
2、兩種輸出方式:
2、1 模擬輸出 : 0~5VDC或4~20 mA ;
2、2 數字輸出:通過 RS232 或者RS485 輸出到PC機
D-300M數字型氣體流量控制器主要指標:
流量規格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500 )SCCM;
(0~1、2、3、5、10、20、30 )SLM
準確度: ±1%F.S.
線性: ±0.5%F.S.
重復: ±0.2%F.S.
D-300M數字型氣體流量控制器響應時間: ≤1Sec
工作壓差范圍: (0.05~0.3)MPa
D-300M數字型氣體流量控制器耐壓: 10Mpa
工作環境溫度: 5~65℃
電氣連接: 8 針(小型圓插頭)
輸入/輸出信號 Digital:RS232/RS485
; Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
D-300M數字型氣體流量控制器電源: 6~16VDC ;1A
標準接頭: Swagelokφ6;Swagelok 1/4″;VCR1/4″
DSN氣體流量控制器系列產品具有高、重復性好、響應速度快、軟啟動、穩定可靠、工作壓力范圍寬等技術特點。操作使用方便,可任意位置安裝,配合DSN2000流量顯示儀或其他流量控制器顯示儀使用,也可直接同計算機實現RS-232 連接,非常方便的實現自動控制。也可作為氣體流量控制器使用。配合DSN2000流量顯示儀對氣體的瞬時流量和累積流量進行測量和控制。
東莞市德欣電子是從事氣體流量控制器(MFM)、DSN系列氣體流量控制器、質量流量控制器(MFC)及流量顯示積算儀的研發設計、制造、銷售和售后服務為一體的新型企業, 公司主導產品有DSN系列質量流量計、熱式氣體流量控制器、DSN系列質量流量顯示儀等產品,廣泛應用于半導體、真空電子、顯示器件、生物技術等行業,公司秉承“顧客至上,銳意進取”的經營理念,堅持“客戶”的原則為廣大客戶提供優質的服務。歡迎惠顧!









