制作工藝：

集成

輸出信號：

模擬型

本產品既能測量頻率從0--7.5KHz的機械振動位移,又可測量小至0.6納米級的機械位移和零件尺寸.測量是非接觸的,故特別適合一般儀器不能勝任的旋轉軸式或不受力的小型.線型.薄壁或怕劃傷的精密零部件的靜態,動態和在線測量.曾獲得國際尤里卡發明獎.國家發明獎.國家科技進步獎
      主要技術指標;
      1.量程；    6微米    10微米    20微米   50微米   60微米  80 微米   100微米    200微米  300微米  400微米  500微米    600微米  800  微米  1000微米     2000微米   3000微米   4000  微米  5000微米    6000微米                                    2.分辨率; 0.01%FSO   
      3.測量頻率范圍; 0--7.5KHz
      4.非線性; <+0.25%      5.溫漂;0.05%/FSO(開機預熱20分鐘)   6.工作溫度;-20--+250度
      7.輸出信號; + 5.00V        8.電源;  ~220V                         儀器應用舉例;
      1.旋轉軸的徑向跳動,軸向竄動和回轉
      2.往復機構的運動特性和重復定位
      3正弦波激振和抹脈沖激振中振動測量
      4機械零部件的相對振動和變形
      5盤類零部件的端面振擺動
      6軸承間隙和油膜厚度
      7線切割機床的電極絲的振動
      8機床主軸熱位移與動態加載試驗測量
      9檢測零部件尺寸和平直度
      儀器傳感器能微調測量初始間隙,安裝方便,操作簡單,適宜測量多種材料,適應高壓.高磁場等惡劣環境