產品介紹：等離子體表面改性處理儀（P-5）

P-5等離子體表面改性處理儀是一款經濟型的臺式等離子體表面改性處理儀，該款臺式等離子體表面改性處理儀提供了許多功能，而這些功能是其它競爭設備上無法找到的。PE-5臺式等離子體表面改性處理儀是專門為小型生產企業，研發實驗室，檢測中心，大學研制開發的。是一款用于等離子體和表面改性的理想臺式等離子體表面改性處理儀。

等離子體表面改性處理儀縱覽

該等離子體表面改性處理儀專門用于小規模的生產企業，研發機構和大學。 該等離子體表面改性處理儀采用了暴式矩形焊接鋁合金材質真空艙，艙體尺寸為15厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高；并設置直接供電的射頻(RF)電。

等離子體表面改性處理儀的應用包括設備，太陽能電池，印刷電路板，連接器，微機電系統（MEMS），納米技術，晶圓級封裝，接觸眼鏡以及其他許多相關的半導體工藝。

等離子體表面改性處理儀特點 

正如等離子體表面改性處理儀，P-5采用電容耦合（CCP）平行電板設計，從而的產生等離子體。

與傳統玻璃/石英圓筒艙不同的是，這些競爭設備不能穿透真空艙，因此被限制只能使用感應耦合的RF線圈纏在腔室的外部。 這是設置一種低效率方式，導致輸入功率損失及相當低的蝕刻/清潔去除速率。

P-5等離子體表面改性處理儀是由美國制造的部件組裝而成，我們提供的業內客戶服務和支持。

等離子體表面改性處理儀可用于在控制的條件下，對各種不同材料的表面進行改性；從而避免了采用濕法清洗和蝕刻相關的危害和液體廢料排放的問題。如果的表面處理效率對一個工藝很關鍵，或對于一個產品的性的話，等離子技術可以提供解決方案。

P-5等離子體表面改性處理儀被用于去除和無機污染物，潤濕性，粘結強度，并除去殘留物。 該工藝可用于各種產品中使用的材料，并認為是一種是的方式。

等離子體表面改性處理儀規格

標準等離子體表面改性處理儀配置

鋁合金真空艙：5厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高
電設置：單套 12.7 X 12.7厘米水平電
射頻電源：125瓦@50kHz射頻電源
工藝氣體控制：精密針形閥流量控制0-25 CC /分鐘
真空監測系統：皮拉尼真空計0-1托
真空系統：5CFM氧氣真空泵 （可與氧氣等氣體適配）
工藝存儲：單處理順序

可選配等離子體表面改性處理儀配置
射頻電源：100W@13.56MHz射頻（RF）電源和自動匹配器網絡
燈條
精密質量流量計
更大真空艙可選配
更大平行電可選配

等離子體表面改性處理儀機電信息
電源： 220VAC，50Hz@ 14A
系統主機毛重：25公斤
真空泵毛重：15公斤
系統主機尺寸：36厘米 X 36厘米 X 46厘米
真空泵浦尺寸：18厘米×41厘米