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英國IMS三坐標

40年以上制造三坐標的經驗

高性部分

臺面采用花崗巖石制造，在進行測量時保持恰當的動態平衡，同時準確性，橫梁和氣墊軸承均采用合金加碳纖維涂層，增強機體剛性/穩定/耐用性/和具溫度惰性（溫差反應特性）。

震裝置

配用震裝置，減低四周環境震動對測量時的影響。

光柵尺

配用標準0.1um光柵尺在三個軸上，IMS擁有校準設施及專門小組研制精密光柵，質量。

傳動部件

三軸均采用DC直流伺服馬達驅動，直線加速度率為2.5m/sec2

電腦控制器

采用32元位[連續運動]（On-Motion Control)PCI控制卡，配合軟件上平穩軌跡移動功能，縮短測量時間和減低機器上的應力。

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
IMPA 600	500	600	450	2.8+L/250	0.1	500
IMPA 800	750	800	550	3.3+L/250	0.1	750
IMPA1000	750	1000	650	3.5+L/250	0.1	850

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
Premier1000	1000	1000	800	2.5+L/250	0.1	750
	1000	1250	800	2.6+L/250	0.1	750
	1000	1500	800	2.7+L/250	0.1	900
	1000	1000	1000	3.0+L/250	0.1	750
	1000	1250	1000	3.1+L/250	0.1	750
	1000	1500	1000	3.2+L/250	0.1	900
Premier1250	1250	1250	800	2.8+L/250	0.1	750
	1250	1500	800	2.9+L/250	0.1	900
	1250	2000	800	3.1+L/250	0.1	1100
	1250	3000	800	3.3+L/250	0.1	1500
	1250	1250	1000	3.8+L/250	0.1	750
	1250	1500	1000	3.9+L/250	0.1	900
	1250	2000	1000	4.1+L/250	0.1	1100
	1250	3000	1000	4.2+L/250	0.1	1500
Premier1500	1500	1500	800	3.3+L/250	0.1	900
	1500	2000	800	3.5+L/250	0.1	1100
	1500	3000	800	3.7+L/250	0.1	1500
	1500	1500	1000	4.2+L/250	0.1	900
	1500	2000	1000	4.4+L/250	0.1	1100
	1500	3000	1000	4.6+L/250	0.1	1500
	1500	1500	1200	5.1+L/250	0.1	900
	1500	2000	1200	5.3+L/250	0.1	1100
	1500	3000	1200	5.5+L/250	0.1	1500

英國IMS三坐標

40年以上制造三坐標的經驗

高性部分

震裝置

配用震裝置，減低四周環境震動對測量時的影響。

光柵尺

配用標準0.1um光柵尺在三個軸上，IMS擁有校準設施及專門小組研制精密光柵，質量。

傳動部件

三軸均采用DC直流伺服馬達驅動，直線加速度率為2.5m/sec2

電腦控制器

采用32元位[連續運動]（On-Motion Control)PCI控制卡，配合軟件上平穩軌跡移動功能，縮短測量時間和減低機器上的應力。

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
IMPA 600	500	600	450	2.8+L/250	0.1	500
IMPA 800	750	800	550	3.3+L/250	0.1	750
IMPA1000	750	1000	650	3.5+L/250	0.1	850

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
Premier1000	1000	1000	800	2.5+L/250	0.1	750
	1000	1250	800	2.6+L/250	0.1	750
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	1000	1000	1000	3.0+L/250	0.1	750
	1000	1250	1000	3.1+L/250	0.1	750
	1000	1500	1000	3.2+L/250	0.1	900
Premier1250	1250	1250	800	2.8+L/250	0.1	750
	1250	1500	800	2.9+L/250	0.1	900
	1250	2000	800	3.1+L/250	0.1	1100
	1250	3000	800	3.3+L/250	0.1	1500
	1250	1250	1000	3.8+L/250	0.1	750
	1250	1500	1000	3.9+L/250	0.1	900
	1250	2000	1000	4.1+L/250	0.1	1100
	1250	3000	1000	4.2+L/250	0.1	1500
Premier1500	1500	1500	800	3.3+L/250	0.1	900
	1500	2000	800	3.5+L/250	0.1	1100
	1500	3000	800	3.7+L/250	0.1	1500
	1500	1500	1000	4.2+L/250	0.1	900
	1500	2000	1000	4.4+L/250	0.1	1100
	1500	3000	1000	4.6+L/250	0.1	1500
	1500	1500	1200	5.1+L/250	0.1	900
	1500	2000	1200	5.3+L/250	0.1	1100
	1500	3000	1200	5.5+L/250	0.1	1500

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40年以上制造三坐標的經驗

高性部分

震裝置

配用震裝置，減低四周環境震動對測量時的影響。

光柵尺

配用標準0.1um光柵尺在三個軸上，IMS擁有校準設施及專門小組研制精密光柵，質量。

傳動部件

三軸均采用DC直流伺服馬達驅動，直線加速度率為2.5m/sec2

電腦控制器

采用32元位[連續運動]（On-Motion Control)PCI控制卡，配合軟件上平穩軌跡移動功能，縮短測量時間和減低機器上的應力。

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
IMPA 600	500	600	450	2.8+L/250	0.1	500
IMPA 800	750	800	550	3.3+L/250	0.1	750
IMPA1000	750	1000	650	3.5+L/250	0.1	850

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
Premier1000	1000	1000	800	2.5+L/250	0.1	750
	1000	1250	800	2.6+L/250	0.1	750
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	1000	1000	1000	3.0+L/250	0.1	750
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	1000	1500	1000	3.2+L/250	0.1	900
Premier1250	1250	1250	800	2.8+L/250	0.1	750
	1250	1500	800	2.9+L/250	0.1	900
	1250	2000	800	3.1+L/250	0.1	1100
	1250	3000	800	3.3+L/250	0.1	1500
	1250	1250	1000	3.8+L/250	0.1	750
	1250	1500	1000	3.9+L/250	0.1	900
	1250	2000	1000	4.1+L/250	0.1	1100
	1250	3000	1000	4.2+L/250	0.1	1500
Premier1500	1500	1500	800	3.3+L/250	0.1	900
	1500	2000	800	3.5+L/250	0.1	1100
	1500	3000	800	3.7+L/250	0.1	1500
	1500	1500	1000	4.2+L/250	0.1	900
	1500	2000	1000	4.4+L/250	0.1	1100
	1500	3000	1000	4.6+L/250	0.1	1500
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	1500	2000	1200	5.3+L/250	0.1	1100
	1500	3000	1200	5.5+L/250	0.1	150

英國IMS三坐標

40年以上制造三坐標的經驗

高性部分

震裝置

配用震裝置，減低四周環境震動對測量時的影響。

光柵尺

配用標準0.1um光柵尺在三個軸上，IMS擁有校準設施及專門小組研制精密光柵，質量。

傳動部件

三軸均采用DC直流伺服馬達驅動，直線加速度率為2.5m/sec2

電腦控制器

采用32元位[連續運動]（On-Motion Control)PCI控制卡，配合軟件上平穩軌跡移動功能，縮短測量時間和減低機器上的應力。

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
IMPA 600	500	600	450	2.8+L/250	0.1	500
IMPA 800	750	800	550	3.3+L/250	0.1	750
IMPA1000	750	1000	650	3.5+L/250	0.1	850

型號	X	Y	Z	um	分辨率um	載重kg
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	1500	1500	1200	5.1+L/250	0.1	900
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