至納米
坐標(biāo)測(cè)量機(jī)F25符合蔡司的質(zhì)量保證特別要求，在此特別尺度下，微系統(tǒng)技術(shù)生產(chǎn)的工件尺寸、形狀和位置。微系統(tǒng)技術(shù)組件將被用于汽車零部件和醫(yī)療儀器上，并在高控制和調(diào)節(jié)過程中起到?jīng)Q定性作用。此精細(xì)工件質(zhì)量監(jiān)控的決定了零部件使用時(shí)的可靠性。
重要特征
? 超精密運(yùn)動(dòng)學(xué)與高測(cè)量系統(tǒng)的完美組合分辨率為7.5nm，測(cè)量達(dá)到250nm
? 久經(jīng)考驗(yàn)的Calypso測(cè)量軟件
機(jī)器技術(shù)
靈活的多功能傳感器：同一系統(tǒng)采用觸發(fā)式和光學(xué)測(cè)量
? 接觸式被動(dòng)掃描——傳感器基于硅芯片，并帶有集成的壓阻組件
? 光學(xué)影像傳感器ViSCAN使用蔡司顯微技術(shù)鏡頭，可用于二維測(cè)量
? 附加的相機(jī)支持探測(cè)時(shí)的可視化操作，并且便于示教編程
選項(xiàng)
? 靈敏的三維微探針測(cè)桿直徑50至500μm及測(cè)針頭直徑100至700μm
