曝光機
型號URE-2000/25型
產(chǎn)品介紹曝光機又名紫外光刻機(英文名:Mask Aligener)
技術特征
設備技術性能優(yōu)越表現(xiàn)在
1.采用技術——積木錯位蠅眼透鏡消衍射,實用分辨力可達1.0-1.2微米;
2.精密對準系統(tǒng)先進——采用精密雙側V型滾動導軌、精密對準調節(jié)手輪、大倍率顯微鏡,消除曝光間隙采用精密密排鋼球軸系導向,對準漂移非常小,對準可達0.8微米;3.積木錯位蠅眼透鏡(79個)。照明聚光角小(光源平行性好),照明均勻性好,照明面積為100mmX100mm(根據(jù)用戶需要可改為150mmX150mm,國內同類面積一般為f100mm或更低);照明均勻性在f100范圍優(yōu)于±4%(國內同類一般低于±5%);
4.光源質量好——保證曝光圖形方、陡、直。通過光學設計、光學鍍膜,曝光成分為純凈的365nm,紅外和可見成分被徹底過濾,曝光面為冷光(在環(huán)境溫度為22度,曝光面溫度不超過30度),肉眼觀察為暗藍紫光,紫外探測能量很高;國內同類由于采用常規(guī)玻璃并由于不掌握特殊紫外鍍膜技術曝光面為熱光(在環(huán)境溫度為22度,曝光面溫度超過30度),且紫外比重很小,肉眼觀察為白光,紫外探測能量很低;
5.可靠性很高。關鍵器件采用進口件,如氣動元件主要采用日本SMC,汞燈采用德國歐斯朗;
6.工藝適應性好,可適應的片子范圍可達f10-f100mm的各種規(guī)則和不規(guī)則片,厚度可適應0.1mm—6mm(0.1mm—15mm)。掩模可適應2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸,厚度可適應1mm-8mm;
7.光功率強,照明面積為100mmX100mm,曝光(純365nm)光功率可達到20mW,而曝光面溫度小于30度。而國內同類一般在f100mm曝光面積一般在15mW以下,而曝光面溫度大于30度;
8.技術接口配套,操作方便。高倍率雙目雙視場顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,并可提供USB輸出;既滿足高對準,又可用于檢測曝光結果,且曝光結果方便存儲;
9.曝光時間可任意設定。曝光快門控制可以單獨開啟,也可以數(shù)字設定自動倒計時曝光(設定范圍0.1s-9999s);
10.長壽命汞燈。采用350W進口(德國)直流汞燈,可調節(jié)光的能量密度;
11.設備外形美觀,性能非常可靠。設備較于國內同類產(chǎn)品具有較明顯優(yōu)勢。
二、設備技術指標先進
主要技術參數(shù)
1.曝光面積:100mm×100mm(或150 mm×150mm);
2.分辨力:≤1.2mm(膠厚2mm的正膠);
3.對準:±0.8mm;
4.掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm;
5.掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;
6.樣片尺寸:直徑f15mm--f100mm(可適應非標準片或碎片)、 厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm);
7.照明均勻性:≤±4%(f100mm范圍);
8.掩模相對于樣片運動行程:X:±5mm; Y:±5mm; q: ±6度;
9.汞燈功率:350W(直流);曝光波長:365nm; 10.曝光能量密度:18-20 mW/cm
11.曝光方式:定時(倒計時方式0.1s—9999s)。



