曝光機
型號URE-2000/25型
產(chǎn)品介紹曝光機又名紫外光刻機（英文名：Mask Aligener) 
技術特征
設備技術性能優(yōu)越表現(xiàn)在
1．采用技術——積木錯位蠅眼透鏡消衍射，實用分辨力可達1.0-1.2微米；
2．精密對準系統(tǒng)先進——采用精密雙側V型滾動導軌、精密對準調節(jié)手輪、大倍率顯微鏡，消除曝光間隙采用精密密排鋼球軸系導向，對準漂移非常小，對準可達0.8微米；3．積木錯位蠅眼透鏡（79個）。照明聚光角小(光源平行性好)，照明均勻性好，照明面積為100mmX100mm(根據(jù)用戶需要可改為150mmX150mm,國內同類面積一般為f100mm或更低);照明均勻性在f100范圍優(yōu)于±4%（國內同類一般低于±5%）；
4．光源質量好——保證曝光圖形方、陡、直。通過光學設計、光學鍍膜，曝光成分為純凈的365nm，紅外和可見成分被徹底過濾，曝光面為冷光（在環(huán)境溫度為22度，曝光面溫度不超過30度），肉眼觀察為暗藍紫光，紫外探測能量很高；國內同類由于采用常規(guī)玻璃并由于不掌握特殊紫外鍍膜技術曝光面為熱光（在環(huán)境溫度為22度，曝光面溫度超過30度），且紫外比重很小，肉眼觀察為白光，紫外探測能量很低；
5．可靠性很高。關鍵器件采用進口件，如氣動元件主要采用日本SMC，汞燈采用德國歐斯朗；  
6．工藝適應性好，可適應的片子范圍可達f10-f100mm的各種規(guī)則和不規(guī)則片,厚度可適應0.1mm—6mm（0.1mm—15mm）。掩模可適應2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸，厚度可適應1mm-8mm；  
7．光功率強，照明面積為100mmX100mm，曝光（純365nm）光功率可達到20mW,而曝光面溫度小于30度。而國內同類一般在f100mm曝光面積一般在15mW以下，而曝光面溫度大于30度；
8．技術接口配套，操作方便。高倍率雙目雙視場顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程，并可提供USB輸出；既滿足高對準，又可用于檢測曝光結果，且曝光結果方便存儲；
9.曝光時間可任意設定。曝光快門控制可以單獨開啟，也可以數(shù)字設定自動倒計時曝光（設定范圍0.1s-9999s）；
10.長壽命汞燈。采用350W進口（德國）直流汞燈，可調節(jié)光的能量密度；
11.設備外形美觀，性能非常可靠。設備較于國內同類產(chǎn)品具有較明顯優(yōu)勢。

 二、設備技術指標先進
主要技術參數(shù)
1.曝光面積：100mm×100mm（或150 mm×150mm）；
2.分辨力：≤1.2mm（膠厚2mm的正膠）；
3.對準：±0.8mm；
4.掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm；
5.掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
6.樣片尺寸:直徑f15mm--f100mm(可適應非標準片或碎片)、              厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)；
7.照明均勻性：≤±4%（f100mm范圍）；
8.掩模相對于樣片運動行程：X:±5mm;  Y:±5mm; q: ±6度；
9.汞燈功率：350W（直流）；曝光波長：365nm； 10.曝光能量密度：18-20 mW/cm
11.曝光方式：定時（倒計時方式0.1s—9999s）。