從能量轉(zhuǎn)換的角度而言，電容傳感器為無源變換器，需要將所測的力學量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進行放大和處理。力學量中的線位移、角位移、間隔、距離、厚度、拉伸、壓縮、膨脹、變形等無不與長度有著密切聯(lián)系的量；這些量又都是通過長度或者長度比值進行測量的量，而其測量方法的相互關系也很密切。另外，在有些條件下，這些力學量變化相當緩慢，而且變化范圍極小，如果要求測量極小距離或位移時要有較高的分辨率，其他傳感器很難做到實現(xiàn)高分辨率要求，在精密測量中所普遍使用的差動變壓器傳感器的分辨率僅達到1～5 μm數(shù)量級；而有一種電容測微儀，他的分辨率為0.1nm，比前者提高了四個數(shù)量級，量程為1250 μm，而且為零磁滯，因此他在精密小位移測量中受到青睞。
ZCS1100單極電容傳感器：ZCS1100是一個單一的通道，高性能線性位移測量系統(tǒng)，創(chuàng)新的電容傳感器測量技術，提供了納米測量能力，成本低，適合測量任何導電目標。
應用領域
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
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