- 提供有單層和多層型號
- ModeLock 技術可避免跳模引起的薄膜厚度誤差
- 支持 INFICON Crystal 12®、Crystal Six® 及雙傳感器自動晶體轉換,從而化生產力
- XTC/3M 多層型號多支持 99 個過程、999 層薄膜、32 種薄膜材料、2 個傳感器和兩種源
- XTC/3S 單層型號多支持 9 種薄膜、2 個傳感器和兩種源
- 易于閱讀的 TFT LCD 圖形顯示器
- 可以為薄膜和過程分配的描述性名稱,以便于檢索
- 提供以太網連接
- 式(不需要計算機)或可選的 Windows® 軟件,便于使用 PC 操作
- 插拔式替換 INFICON XTC/2 控制器(受限于 XTC/2 功能和命令集)







