光學(xué)隔振平臺(tái)
隔振性能，用于存在高動(dòng)態(tài)力，進(jìn)行靈敏度測(cè)量和檢驗(yàn)的設(shè)備，如平版印刷設(shè)備、激光設(shè)備、高分辨率電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備。
POT型光學(xué)平臺(tái)技術(shù)參數(shù)：
★ 臺(tái)面采用濟(jì)南青OO級(jí)
★ 平面度≤0.05㎜/㎡
★ 表面粗糙度不大于0.8μm
★ 固有頻率10Hz
★ 采用（四）支撐基礎(chǔ)，表面噴汽車油漆并有連接桿
★ 調(diào)平方式：機(jī)械
ZDT型自動(dòng)平衡精密隔振光學(xué)平臺(tái)技術(shù)參數(shù)：
★ 臺(tái)面采用濟(jì)南青OO級(jí)
★ 平臺(tái)氣動(dòng)元件都采用德國FTO產(chǎn)品
★ 平面度≤0.05㎜/㎡
★ 表面粗糙度不大于0.8μm
★ 固有頻率1～2Hz
★ 采用（四）支撐基礎(chǔ)，表面噴汽車油漆并有連接桿
★ 振幅小于1.0μm
★ 調(diào)平方式：自動(dòng)
★ 充氣方式：自動(dòng)
