為了更長時間地保持直線度，三豐公司采用了老化且的堅固的陶瓷導(dǎo)軌；

驅(qū)動器(X軸)和立柱(Z2軸)均配備了高線形編碼器(其中Z2軸上為ABS型)。因此，在垂直方向?qū)π】走B續(xù)自動測量、對較難定位部件的重復(fù)測量的重復(fù)得以。

輪廓測量技術(shù)參數(shù):

X軸

測量范圍:100mm或200mm

分辨率:0.05μm

檢測方法:反射型線性編碼器

驅(qū)動速度:80mm/s、外加手動

測量速度:0.02-5mm/s

移動方向:向前／向后

直線度:0.8μm/100mm,2μm/200mm *以X軸為水平方向上

指示(20°C時):±(0.8+0.01L)μm(SV-C3200S4,H4,W4) (SV-C4500S4,H4,W4)

±(1+0.02L)μm(SV-C3200S8,H8,W8) (SV-C4500S8,H8,W8) *L為驅(qū)動長度(mm)

傾角范圍:±45°

Z2軸(立柱)

垂直移動:300mm或500mm

分辨率:1μm

檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器

驅(qū)動速度:0-30mm/s、外加手動

Z1軸(檢測器)

測量范圍:±30mm

分辨率:0.04μm(SV-C3200),0.02μm(SV-C4500)

檢測方法:圓弧光柵尺

指示(20°C時):±(1.6+I 2H I/100)μm(SV-C3200)

±(0.8+I 2H I/100)μm(SV-C4500) *H:基于水平位置的測量高度(mm)

測針上／下運作:弧形移動

測針方向:向上／向下

測力:30mN

跟蹤角度:向上:77°,向下:83°

(使用配置的標準測頭，依表面粗糙度而定)測針針尖半徑:25μm、硬質(zhì)合金

表面粗糙度測量的技術(shù)參數(shù)：

X1軸

測量范圍:100mm或200mm

檢測方法:線性編碼器

驅(qū)動速度:80mm/s

移動方向:向后

直線度:(0.05+L/1000)μm(S4,H4,W4型)

0.5μm/200mm(S8,H8,W8型)

Z2軸(立柱)垂直移動:300mm或500mm

分辨率:1μm

檢測方法:ABSOLUTE線性編碼器

驅(qū)動速度:0-30mm/s、外加手動

檢測器

范圍／分辨率:800μm/0.01μm,80μm/0.001μm,8μm/0.0001μm(2400μm使用測頭選件)

檢測方法:無軌／有軌測量

測力:4mN或0.75mN(低測力型)

測針針尖:金剛石、90o/5μmR(60o/2μmR:低測力型)

導(dǎo)頭曲率半徑:40mm

檢測方法:差動電感式

性能參數(shù)：