*型號:FUNION 564
*行程:X軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
*結構型式:活動橋式
*傳動方式:直流伺服系統+預載荷高空氣軸承
*長度測量系統:RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
*機臺:高(00級)花崗巖平臺
*使用環境:溫度(20&plun;2)℃,濕度55%-65%,溫度梯度1℃/m,溫度變化1℃/h
*空氣壓力:0.4MPa-0.5Mpa
*空氣流量:120L/min–140L/min
*整機尺寸(LWH):1.2mX1.4mX2.3m
*機臺承重:500kg
*整機重量:850Kg
*空間測量:(2.80+L/300)μm







