型號:STREAM564
行程:X軸500mm
Y軸600mm
Z軸400mm
結構型式:活動橋式
傳動方式:直流伺服系統+預載荷高空氣軸承
長度測量系統:RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
機臺:高(00級)花崗巖平臺
使用環境:溫度(20±2)℃,濕度55%-65%,溫度梯度1℃/m,溫度變化1℃/h
空氣壓力:0.4MPa-0.5Mpa
空氣流量:120L/min–140L/min
整機尺寸(LWH):1.2mX1.4mX2.3m
機臺承重:500kg,整機重量:850Kg
空間測量:(2.80+L/300)μm







